国产光刻机真要来了? 中芯国际悄悄试机,外媒先炸了。 别急着沸腾,这台DUV不是“秒天秒地”的EUV,只是28nm起步的“小步跑”。 但小步跑也值钱——能把手机、车芯里那些“老掉牙”的90nm、55nm一口气拉到28nm,产能直接翻倍,价格还能砍半。 真正难啃的骨头是“双工件台”和光源。 说人话:一边曝光一边对准,误差得控制在头发丝的万分之一;激光还得像手术刀一样稳。 清华和长春光机所啃了几年,现在终于能凑出一台能用的原型机。
中芯国际拿它干嘛? 不是去追苹果A17,而是把28nm扩到50%以上。 成熟制程才是现金奶牛,美国卡脖子也卡不到这儿。 ASML当然还在山顶,但山脚开始长草了。 国产DUV只要能量产,哪怕良率低点,也能让海外报价自动打个九折。 这一步,走得慢,却踩得实。
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