光刻机概念股一、整机与系统集成1、张江高科：通过参股上海微电子布局光刻机产业链2
光刻机概念股一、整机与系统集成1、张江高科：通过参股上海微电子布局光刻机产业链2、上海电气：控股股东为上海微电子重要股东3、海立股份：上海电气旗下企业，参与光刻机配套设备二、核心部件①光源系统4、茂莱光学：精密光学元件核心供应商5、福晶科技：全球非线性光学晶体龙头6、波长光电：光刻机激光光学元件厂商②物镜与光学系统7、奥普光电：长春光机所旗下，承担物镜系统研发8、赛微电子：MEMS光学器件技术领先③控制系统9、电科数字：光刻机运动控制模块开发商④精密结构件10、富创精密：半导体设备精密零部件龙头11、新莱应材：高纯不锈钢材料供应商三、关键材料与设备①光刻胶与材料12、南大光电：ArF光刻胶国产化核心13、晶瑞电材：g/i线、KrF光刻胶供应商14、清溢光电：掩膜版国内龙头②辅助设备15、芯源微：涂胶显影设备国内唯一供应商四、下游制造与验证16、中微公司：刻蚀设备国际领先17、中芯国际：光刻机核心用户18、华虹半导体：特色工艺龙头五、科研与产业化19、炬光科技：高功率激光器件供应商20、苏大维格：纳米压印光刻技术储备a股2025年首只10倍股2025首个十倍股，$上纬新材sh688585$停牌了