荷兰位于欧洲西部，国土面积不算太大，仅相当于我国的四川省。就在这样的一个国家诞生了光刻机巨头ASML，独家垄断了EUV光刻机，DUV光刻机的份额也不小。多年来，ASML在全球半导体设备企业营收排名中位居第二，台积电、三星、英特尔等晶圆大厂都依赖它。然而，风光的背后也有一些无奈，光刻机出货屡屡受到限制！所谓的光刻机出货限制，当然不是针对台积电、三星及其他地区的晶圆企业，而是针对我们中企。之前是限制EUV光刻机，因为EUV是7nm及以下高端制程必备的。所以18年时，中芯国际向ASML订购了一台EUV，美方四次施压导致未能出货。后来，美方修改了芯片规则，限制出售10nm及以下高端制程的技术、设备等出货给中企，EUV依然在限制行列。这确实给我们造成了影响，不然7nm就实现量产了。
这之后，ASML虽然不能出货EUV光刻机给中企，但DUV还可以正常出货。DUV光刻机按说通过多次曝光，最高可以做出7nm，但那样做良率不好保证，且成本过高。因此，EUV光刻机推出后，台积电7nm就用EUV替代了DUV。如今，DUV光刻机对于我们来说，最多用于14nm工艺，大部分用于28nm及以上成熟制程芯片制造。鉴于芯片限制，我们也开始注重发展成熟制程为主，中芯国际也一直在建28nm厂。即使如此，美方依然不放心，前段时间又发布芯片限制新规，扩大限制14nm及以下制程，重点限制芯片制造设备，首先是美三大设备商应用材料、泛林集团、科磊。然而，全球前十大半导体设备厂商中，除了3家美企，还有2家荷企和5家日企。因此，美方还积极游说日本和荷兰，希望他们也能够跟随实施这次新规，限制本国企业出货给中企。尤其是荷兰的ASML，美方希望能够进一步扩大限制DUV光刻机。
美方觉得只有这样全方位实施限制，才能达到新规的预期目的，才能对我们形成有效的封锁压力。然而，他们似乎并不积极，日方一直在犹豫，荷兰直接表示不跟随。因为日企设备商在大陆的市场份额都不小，跟随新规限制将影响他们的份额，表示非常担忧，为此日方一直在观望。而荷兰大臣直接表示，不会照搬美方的限制新规。ASML更是直接拒绝了美方的要求，表示限制DUV光刻机会造成全球供应链中断。然而，情况很快发生变化了，据美媒消息显示，日本和荷兰已经同意跟随实施新规的出口管制。如果消息属实的话，那么ASML的DUV光刻机将会被限制出货给中企。对此，ASML总裁近日接受采访时开始质疑，美方要求荷兰实施的对华限制新规是否合理。由此看来，ASML总裁是真的急了。外媒评价道，ASML总裁开始“发飙”了！ASML总裁不满的是，限制EUV已做出了牺牲，而销售替代技术的美企却从中获利。
如今，ASML来自中企的销售额才15%左右，而美企设备供应商的一般比例为25%左右，有的甚至超过30%，他们依然能够向中企出售最先进芯片和相应的制造设备。然而，ASML只能出售较老的芯片制造设备，就这样还在要求他们扩大DUV的出货。为此，ASML总裁才会质疑美方新规的合理性，认为那只是有利美企销售替代技术产品等 。其实，情况就是如此，一直以来美方实施限制，美企都会优先获得相应许可。要知道，ASML毕竟还是一家企业，无端地让人家不能出货EUV给中企，已经造成了一定的损失，如今又要限制DUV，由此造成的损失谁来承担，还得是ASML自己。ASML虽然是光刻机巨头，但限制DUV光刻机，等于让人家失去大陆这个全球最大的半导体设备市场，不只是损失巨大，还有可能影响未来发展，总裁能不发飙吗？
评论列表