MEMS陀螺仪又被称之为MEMS传感器，MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，在设计上按照一个音叉机制共振运动，通过科里奥利力原理把角速率转换成一个特定感测结构的位移。以一个单轴偏移（偏航，YAW）陀螺仪为例，通过图利探讨简单的工作原理。光纤陀螺仪(FOG)以前曾经是环形激光陀螺仪(RLG)等其他技术的低成本替代品，现在该技术面临自爱普生高精度陀螺仪新的竞争。微机电系统MEMS陀螺仪开始抢夺传统FOG应用的市场份额。具体来说，天线阵列稳定、农业机械控制、常规车辆导航成为MEMS和FOG对峙的战场。MEMS陀螺仪应用可以从早的汽车电子到近些年来的消费电子，和即将来到的物联网时代。如今单一的传感器已不能满足人们对功能、智能的需要，像包括MEMS惯性传感器、MEMS环境传感器、MEMS光学传感器、甚至生物传感器等多种传感器数据融合将成为新时代传感器应用的趋势。MEMS陀螺仪与FOG光纤陀螺仪相比从性能参数看非常接近，特别是EPSON新推出的MG365,MG370等系列参数已经达到了FOG战术级性能水平，但其成本却比其低出数倍。如果可以使用GNSS，而且应用的目的是在开放天空环境中运行，MEMS陀螺仪可以取代FOG光纤陀螺仪。如果应用能够接收车辆或平台速度更新，则爱普生MEMS陀螺仪系统可以达到与独立FOG系统相同的水平。这将迅速加速六轴陀螺仪在自动驾驶汽车等领域的推广应用。

EPSON MEMS陀螺仪是一种基于微机电系统(MEMS)技术的高精度角速度传感器，它在现代电子设备中扮演着至关重要的角色。EPSON的MEMS陀螺仪采用了先进的微加工技术能够实现极高的灵敏度和稳定性，使其在各种应用领域中具有广泛的应用前景。EPSON MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，这个单元设计上采用了音又机制共振运动的方式·。这种设计不仅提高了陀螺仪的灵敏度，还使得其体积更小，性能更高。随着微加工技术的进一步成熟，MEMS陀螺仪的零偏稳定性已经达到了0.1°/h的量级2这一进步标志着EPSON在MEMS陀螺仪领域的领先地位。EPSON M-G370/M-G365是两款高性能的MEMS六轴陀螺仪，它们不仅性能达到了光线陀螺仪(FOG)级别，而且安装简单，支持各种应用，并具有新的态角输出功能。这表明EPSON的MEMS陀螺仪不仅在精度上有所突破，而且在用户体验上也进行了优化。EPSON六轴陀螺仪M-G370测试环境搭建框图

此外，EPSON还开发了QMEMS技术，这是一种将石英置于交流变电场中的专利技术通过这种技术，EPSON能够生产出小型且具有高敏感度的陀螺仪传感器。这种技术的应用，使得EPSON的MEMS陀螺仪在消费性电子和智能手机等领域得到了广泛应用。综上所述，EPSON的MEMS陀螺仪凭借其高精度、高性能以及良好的用户体验，在全球范围内受到了广泛的认可和应用。无论是在军事、航空航天还是消费电子领域，EPSON的MEMS陀螺仪都展现出了其不可替代的价值。随着技术的不断进步和创新，EPSON的MEMS陀螺仪无疑将继续在未来的科技发展中扮演重要角色: