2020年相关禁令的发布,让越来越多的人意识到光刻机的重要性。为了攻克这一卡脖子难题,国家机构以及部分企业都加大了研发力度。
可高端光刻机的研发哪有这么容易,想当年美国和欧洲可是用举国之力,才将极紫外光刻机技术研究出来。我国想要在短时间内完成攻关,几乎没有可能。
不过,在光刻机的一项关键元器件上,中国技术却领先美企十五年。这项元器件正是KBBF晶体,这类晶体材料不单单被应用于光刻机制造,而且还是激光制导和激光武器的核心部件。
用业界的话来讲,KBBF晶体的重要性堪比稀土。值得庆幸的是,在这方面,我国长期垄断着相关技术,美国甚至因此被封锁了十五年之久。
这还要追溯到上个世纪六十年代,我国在非线性光学材料领域落后海外十几年。为了让国家追上世界的脚步,国内为之奋斗的仁人志士不在少数,陈创天就是其中之一。
想当年,身为中科院院士的陈创天,每个月只领147元的薪资。但为了中国科技坚持研发,在九十年代初期发现了这种非线性光学晶体材料——KBBF晶体。
陈创天团队用了6年的时间,培育出了这种比美国ADP晶体效果好四五倍的KBBF晶体。
在当时,这类晶体的紫外线波段性能达到世界顶级水准,而且只有中国能够研制出KBBF晶体。
考虑到KBBF晶体的重要性,当年我国决定停止对外出口并进行深入研究,这让美国等国家失去了晶体来源。
向来喜欢草木皆兵的美国开始大力研发KBBF晶体,终于该国在2016年实现自主研发。
不过,中国在先进激光晶体方面的研究并没有止步于KBBF晶体。目前,我国还掌握着BBO、LBO等非线性晶体材料的核心制造技术,在这一领域,美国并没有赶超我国。
虽然这一项元件的自主研发和领先,并不能让国产光刻机走出瓶颈。但在笔者看来,只要坚持下去,我国会在越来越多的小零件上实现自研。
日积月累,总有一天能够完成EUV光刻机的攻关。不过在此之前,面对产业链国际化的半导体市场,笔者认为在创新的同时,也应该坚持合作和开放。
经济全球化是不可逆转的大趋势,掌握核心技术是为了不受制于人,而不是为了与美国半导体产业一样,利用技术优势扰乱市场秩序。
文/谛林 审核/子扬 校正/知秋