8月20日，半导体设备ETF基金（159327）开盘涨0.00%，报1.344元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，北方华创开盘跌0.66%，中微公司涨0.01%，沪硅产业跌0.16%，华海清科涨0.63%，南大光电跌0.03%，拓荆科技跌0.23%，长川科技跌0.50%，中科飞测跌0.09%，安集科技跌0.12%，芯源微跌0.33%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为贺方舟，成立（2024-07-24）以来回报为34.41%，近一个月回报为7.86%。

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