科创半导体设备ETF（588710）成立于2025年5月26日，基金全称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为科半导体。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止6月11日，科创半导体设备ETF（588710）最新份额为1.56亿份，最新规模为1.55亿元。

科创半导体设备ETF（588710）现任基金经理为李沐阳。李沐阳自2025年5月26日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-0.52%。

最新定期报告显示，科创半导体设备ETF（588710）重仓股包括华海清科、中微公司、拓荆科技、安集科技、芯源微、中科飞测、华峰测控、盛美上海、富创精密、中芯国际，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688120华海清科0.91%3.50万534.62万688012中微公司0.89%3.01万520.79万688072拓荆科技0.86%3.50万508.38万688019安集科技0.66%2.27万391.10万688037芯源微0.65%4.04万379.76万688361中科飞测0.61%4.83万359.44万688200华峰测控0.49%2.04万288.42万688082盛美上海0.38%2.21万222.16万688409富创精密0.34%3.87万197.44万688981中芯国际0.31%2.23万184.74万

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