5月15日，截止午间收盘，半导体设备ETF基金（159327）跌1.31%，报1.208元，成交额431.92万元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，北方华创截止午盘跌0.90%，中微公司跌2.10%，沪硅产业跌0.61%，华海清科跌1.07%，拓荆科技跌1.38%，南大光电跌0.28%，长川科技跌2.11%，鼎龙股份跌1.68%，雅克科技跌2.14%，TCL科技跌0.69%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为贺方舟，成立（2024-07-24）以来回报为22.33%，近一个月回报为-1.22%。

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