scmp:东D突破EUV技术,突破先进芯片生产,打破ASML预测。东D研究人员通过构建一个以国际竞争参数运行的极紫外(EUV)光源平台,突破了国产先进芯片的障碍,该团队领导人曾任荷兰ASML公司光源技术负责人。
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