半导体设备安装公司“润泰工程老余”分享了9月9日发布的“首台设备推广目录2024版”中的半导体光刻设备。作为业内相对权威的人士,他披露了以下几点: ①推广目录清单里的两款光刻设备,氟化氪和氟化氩光刻机技术水平对应ASML9月6日限售的1970i和1980i DUV水平,氟化氩在多重曝光下可以做到5。大漂亮本想试探并“打脸”东大,没想到两天后被东大反手“打脸”。 ②东大的DUV和EUV基本同步研发,DUV相对EUV简单,加上之前有一定的技术储备,现在获推广,因为技术已经成熟可靠,EUV进展也不错。 ③东大分别在北、上、深三地各组建了一条纯国产半导体设备线,是纯国产,没有一台国外设备,2025年全线拉通。 ④国内组织了十几家顶尖的半导体设备厂商、科研机构共同研发DUV和EUV,24H不间断,两班倒。 信息来源: 润泰工程
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