联合新闻网8月26日报道

台积电目前拥有超过80台EUV，并且还在安装新一代设备，预计到2025年，台积电将占全台整体能源消耗的12.5%，远高于2020年时的大约6%。

彭博社（Bloomberg Businessweek）报道，目前阿斯麦尔（ASML）最先进的极紫外光微影设备（EUV）每台估计耗电约1MW（百万瓦），大约是前几代设备的10倍以上，但想以最先进制程技术生产晶片，别无其他替代选项，而这样的耗电怪兽，台积电目前至少有80台。

台积电成成吃电怪兽令许多人士感到担忧。

环保组织绿色和平（Greenpeace）气候能源专案主任郑楚忻表示，”照此发展，台湾缺电必然发生，其他行业必将受到影响”。

大学教授梁启源说，除非台积电自己盖电厂，否则台湾未来恐怕养不起芯片行业。除台积电之外，美光科技（Micro Technology）也计划在台中厂使用至少一台EUV。

芯片制造对环境的影响将取决于用电来源。

研究业者Imec永续发展专案主管Lars-Ake Ragnarsson指出，”在使用高耗能设备的晶片厂，再生能源变得紧急且必要”。目前台湾高度仰赖化石燃料，官方7月公布最新能源数据显示，截至2021年底，仅6%的电力来自再生能源，当局还因此调降2025年再生能源发电目标，将占比由20%降至15%。