近日，深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”）在上海证券交易所发布了关于拟投资建设项目的公告。公告称，公司拟在上海市浦东新区投资建设“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目”，用于高端半导体质量控制设备研发测试中心及产业化基地建设，拟投资规模14.81亿元，将由公司全资子公司飞测思凯浦实施。
公开资料显示，中科飞测由陈鲁创立于2014年，是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司。中科飞测自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。
本次公告中的项目建设主体——飞测思凯浦，为中科飞测全资子公司，成立于2024年5月，位于上海张江，法定代表人为陈鲁，注册资本为1000万元人民币。
01
从中科院少年班走出的创业者
1992年，年仅15岁的陈鲁考进中科院少年班攻读物理学专业。1997年，陈鲁选择前往美国布朗大学进修，并在2003年取得了光学物理博士。
毕业后，陈鲁的第一份工作是在美国的Rudolph Technologies公司（RTEC）担任科学家。RTEC是一家世界范围内头部半导体设备、软件供应商。也正是在这段期间，陈鲁遇到了现在的妻子，也是中科飞测的股东之一——哈承姝。那时她在耶鲁大学取得了经济学硕士学位，之后又获得美国华盛顿大学职业法律专业博士学位，并先后在德勤、金沙江创投任职。
2005年，陈鲁在设备检测商科磊半导体任职资深科学家，主要负责研发新一代集成电路检测设备。在美国奋斗十余年后，2010年，陈鲁、哈承姝夫妇选择回国发展。
归国之后，陈鲁选择回到曾经培养他的中科院，成为了中科院微电子所“百人计划”的研究员，并担任中科院博士生导师。这期间，陈鲁在中科院负责中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室（八室）的工作，主要研究方向也是光学仪器设备领域。
在中科院工作期间，依托于中科院微电子所，陈鲁组建了一支研发团队。2014年，陈鲁带领团队从北京前往深圳开始创业，正式成立中科飞测。
2023年5月19日，中科飞测在科创板挂牌上市，当天收盘大涨189.62%，收盘市值高达218.72亿元。
公告显示，该公司中前道制程客户已覆盖逻辑、存储、功率半导体、MEMS等，化合物半导体客户覆盖碳化硅、氮化镓等，先进封装客户覆盖晶圆级封装和2.5D/3D封装等，半导体材料企业主要为大硅片等，制程设备企业覆盖刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP设备等。
据悉，公司产品已广泛应用在中芯国际、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线。
截至2024年9月末，公司累计客户数量超过200家。截至2024年9月30日，公司研发人员数量为493人；截至2024年9月30日，公司已拥有境内外授权专利超过500项，其中发明专利超过100项。同时，公司牵头承担了多个国家级、省级、市级重点专项研发任务，参与了多项国家及国际标准的制定。在荣誉方面，中科飞测获得了国家级专精特新“小巨人”企业、国家级高新技术企业、省级专精特新中小企业及省级制造业单项冠军企业等称号。
融资方面，天眼查显示，在上市前，中科飞测共完成5轮融资，投资方包括深创投、中芯聚源、哈勃投资、国投集团等头部投资机构。
中科飞测表示，此次投资建设研发及扩产项目，也是为应对行业HBM等新兴领域的2.5D/3D先进封装技术等快速发展趋势。
02
拟投资14.81亿元
在上海浦东建设高端半导体项目
中科飞测在发布的公告中称，公司基于经营发展需要，为加快产能规划及产业布局，拟在上海市浦东新区投资建设“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目”，用于高端半导体质量控制设备研发测试中心及产业化基地建设，拟投资规模14.81亿元，将由公司全资子公司飞测思凯浦实施。本项目建成投产后将进一步扩大公司生产经营规模和提高技术研发实力，从而提升公司核心竞争力。
此前，中科飞测披露了2024年度向特定对象发行A股股票预案。根据预案，公司计划通过向特定对象发行股票来募集资金总额不超过25亿元（含本数）的资金，扣除发行费用后的募集资金净额拟投入上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目、总部基地及研发中心升级建设项目、补充流动资金。本次发行对象为不超过35名符合中国证监会规定条件的特定对象，发行数量不超过9600万股（含本数）。
再融资公告显示，上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目主要涉及两个子项目：
上海高端半导体质量控制设备产业化项目：拟在上海市浦东新区建设高标准洁净车间以及仓库等配套设施，引入先进的生产配套设备及软件，打造规模化、现代化、标准化的高端半导体质量控制设备产业化基地。
上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目：拟在上海市浦东新区建设研发测试中心，引入半导体质量控制技术研发与产品开发所需的先进软硬件设备，引进高端技术人才，进一步提升公司研发测试技术能力。
项目建设地点位于上海浦东康桥工业区，具体用地面积以实际情况为准。项目计划投资金额14.81亿元（含购置土地款、建筑工程、设备费等，最终项目投资以实际投入为准）。本次对外投资资金来源为中科飞测自有或自筹资金，不会影响现有主营业务的正常开展。
中科飞测认为，中国大陆半导体质量控制设备行业正处于快速发展阶段，目前的国产化率较低。为前瞻布局前沿技术，把握市场机遇，满足公司高端半导体质量控制设备产品未来日益增加的技术研究和产能扩张需求，本项目的实施有利于公司进一步提升技术水平能力、扩大市场份额，从而提高公司的综合竞争力，为推动公司长期稳定发展奠定基础。
03
为何是浦东？
为什么选择在上海市浦东新区建设高端半导体质量控制设备研发测试中心及产业化基地？
中科飞测在公告中透露，公司现有产能主要集中于深圳市及大湾区，上海及长三角地区产能规划相对较少。上海及长三角地区作为我国半导体产业集群最为活跃的地区之一，是公司客户主要集聚区域之一。为了加快公司在上海以及长三角地区的战略规划实施，公司在上海新建产业化基地有利于充分利用区域优势，扩充长三角地区产能，提高客户需求响应速度及产品交付效率，增强客户粘性，从而巩固并提高公司行业市场地位和市场份额。
众所周知，集成电路产业在上海的三大先导产业中占据着首要位置。作为战略性新兴产业的关键部分，集成电路（芯片）是推动新质生产力发展的重要力量。
上海浦东新区作为上海经济发展的强力“发动机”，是国内集成电路全产业链体系最集中的区域之一。2023年，浦东新区集成电路实现产业规模2715.50亿元，增长5.1%。上半年实现产业规模1378亿元，增长13.6%；新增专利总数1643个，增长18.1%，其中发明专利数1362个，增长25.9%。
浦东的集成电路产业坚持全链布局发展，已基本构建从EDA基础软件、IP核、核心产品设计、制造封测，到装备零部件材料的全产业链体系。
从行业来看，质量控制设备作为集成电路生产过程中的核心设备之一，贯穿集成电路制造的关键环节。尤其是在半导体产业技术快速发展的背景下，半导体制造工艺日趋复杂，对工艺窗口的挑战要求几乎“零缺陷”，半导体质量控制对于保证生产良率发挥着至关重要作用。
根据VLSI数据统计，在2023年全球半导体制造设备市场份额占比中，半导体检测和量测设备占比约为13%，仅次于刻蚀设备、薄膜沉积设备和光刻设备。随着人工智能、智能驾驶、物联网、云计算及大数据等众多领域的蓬勃发展，近年来下游集成电路需求快速增长，随之带动晶圆制造厂商、封装测试厂商研发新工艺、扩充产能，纷纷加大对半导体设备的投资力度。受益于中国集成电路行业的快速发展及国内晶圆厂的产能持续扩张，中国大陆的半导体设备行业正处于快速发展的机遇期，市场前景广阔。
根据SEMI数据统计，2023年度中国大陆地区半导体设备销售额达到366.6亿美元，同比增长29.7%，自2020年以来连续四年成为全球第一大半导体设备市场。根据SEMI预测，2025年到2027年全球300mm晶圆厂设备支出预计将达到创纪录的4,000亿美元。其中，中国将保持全球300mm设备支出第一的地位，未来三年将投资超过1,000亿美元。
质量控制设备作为半导体设备行业的核心设备之一，有望迎来新一轮的高速发展周期，下游需求的不断发展为半导体设备制造产业的扩张和升级提供了良好发展机遇和广阔的市场空间。
中科飞测表示，公司专注于高端半导体质量控制领域，为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品及配套服务的全流程良率管理解决方案。公司已形成九大系列设备和三大系列智能软件的产品组合。其中，六大系列设备已经在国内头部客户批量量产应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，市场占有率稳步快速增长，另外三大系列设备均已完成样机研发，并出货客户开展产线工艺验证和应用开发；三大系列智能软件已全部应用于国内头部客户，应用领域覆盖度稳步提升。
相信在未来，中科飞测将凭借其雄厚的技术实力和研发体系，为新项目的实施奠定坚实的技术支撑。公司也能利用其优质的客户资源和良好的市场口碑，积极开发新的客户群体，确保新增产能得到有效利用。同时，该项目的推进能够促进公司产品线的多样化和产能结构的优化，增强公司在新产品开发及现有产品升级方面的研究与产业化能力，助力实现高端半导体质量控制设备领域的国产化率提高。
