近日,荷兰政府决定:将ASML对中国的DUV光刻机销售情况从敏感商品出口信息披露范畴中剔除,此后ASML对中国深紫外光刻机(DUV)的销售情况不再对外公开。

这一决定引发了广泛关注,因为荷兰之前一直保持着定期公布具有潜在军事用途的“两用”产品出口状况的惯例。
此前,2023年,荷兰在美国政府施压下,出台了一份具有军事意义的“两用”商品清单,重点针对阿斯麦的深紫外光刻机(DUV),规定该设备需要申请许可才能出口,最先进的极紫外光刻机(EUV)则一直需要出口许可。
从2018年开始,ASML公司就停止了向我国出售EUV光刻机,到目前为止,我国的中芯国际也没有购得一台ASML的EUV光刻机。哪怕是DUV光刻机,从高端到中低端也都被卡的死死的。

在此后的一段时间里,我国的芯片代工业务只能停留在28nm的成熟工艺之上,至于14nm、10nm等高阶工艺,我们被按下了暂停键。
但是,这种“暂停”并没有持续多久,华为麒麟芯片(又称海思麒麟芯片),是我国自主研发的系列芯片之一,让全世界看到了中国创造的芯片奇迹。
近期,国产光刻机领域迎来一个重要突破,哈工大官宣搞定13.5纳米极紫外光源,让全世界看到了我们在高端光刻机领域的成绩,虽然这距离完整的EUV光刻机还有一段距离,但是,这段距离不会太久了。
据路透社报道,荷兰外交部证实了这一消息。
荷兰政府从2023年9月起不公开披露阿斯麦在中国的大部分销售情况。该政策此前从未被报道过。
这一举动备受关注,荷兰此前向来会披露具有潜在军事用途的“两用”商品出口信息,而上述消息意味着,原本依赖披露数据来了解各国军事能力的专家以及议会,可能不能再掌握全面情况。
尽管DUV比EUV落后一代,但它仍是制造汽车、手机、电脑以及机器人晶片必不可少的最常用设备。
报道指出,荷兰上述决定牵涉到经济和军事利益问题,因为阿斯麦客户购买的光刻机类型,决定了他们能够制造的晶片精密程度。
荷兰外交部通过书面回复说,虽然必须披露欧盟认为是敏感商品(例如EUV)的许可证授予情况,但在新清单上,这一要求并不适用于DUV,“原因是(披露)这些信息将很容易追溯到特定的公司,从而泄露敏感的商业数据”。

ASML(Advanced Semiconductor Materials Lithography)是全球领先的光刻机制造商,特别是在EUV(极紫外光刻机)和DUV(深紫外光刻机)领域拥有极高的市场份额。
其中,EUV光刻机是制造7nm以下芯片的关键设备,而DUV光刻机则是制造65nm以下芯片的重要设备。
近年来,ASML在中国市场的销售额持续增长,尤其是在中国大陆积极推进成熟制程芯片产能扩张的背景下,ASML的对华销售额成为了其业绩的重要支撑。