先进封装争夺战:混合键合技术,3D先进封装的下一个风口

芯有芯的小事 2025-02-06 21:26:52

混合键合技术在高性能计算(HPC)、人工智能(AI)、5G通信、物联网(IoT)以及消费电子等多个领域展现出广阔的应用前景。在HPC领域,该技术有助于构建更大规模、更高效率的处理器阵列;在AI领域,则能够支持更加复杂的神经网络模型,加速推理与训练过程;而在5G通信和IoT领域,混合键合技术则有助于实现更高效的数据传输与处理,推动万物互联时代的到来。

什么是混合键合

混合键合又称为直接键合互连(Direct Bond Interconnect,DBI),如果将芯片视为小积木,混合键合就像神奇胶水,让两颗小积木直接黏在一起。当然,真正原理并非胶水,而是透过两个芯片覆盖介电材料如二氧化矽(SiO2),介电材料嵌入与芯片相连的铜接点,接着将两芯片接点面对合,再透过热处理让两芯片铜接点受热膨胀对接。

相较仍是封装主流技术的凸块(Bump)接合,混合键合最大优势是缩小接点间距,以凸块接合来说,最小接点间距约20µm,但混合键合能缩小至1µm 甚至更低。

另一方面,芯片更小接点间距意味相同尺寸,混合键合能做出更多I/O 接点,甚至能在1cm²芯片做出百万个I/O 接点,相较传统覆晶焊锡接合,接点数能提升千倍以上。

此外,混合键合只会让芯片多1~2µm 厚度,微凸块高度则落在10~30µm,故采用混合键合有助降低芯片堆叠厚度,同时省去微凸块间的填充材料。

另外,透过混合键合制作铜接点传递讯号,不仅更稳定,耗能也只有微凸块三分之一甚至更低,有助节能散热。混合键合还能减少芯片机械应力,提升产品可靠性,同时支援更高的资料传输速度,以及达成更低能耗表现。

混合键合成“芯”宠

混合键合在先进封装领域越来越受欢迎,因为它提供了功能相似或不同的芯片之间的最短垂直连接,以及更好的热、电和可靠性结果。

其优点包括互连缩小到亚微米间距、高带宽、增强的功率效率以及相对于焊球连接的更好扩展。但是,尽管一些芯片制造商在大批量制造(HVM)中确实拥有混合键合技术,但目前该工艺的成本太高,无法大规模采用。而且由于混合键合将前端和后端生产线连接在一起,因此芯片放置等组装工艺现在必须满足前端规格。

其他挑战包括需要更好的铜平整度均匀性、更快的芯片到晶圆(D2W)放置和更好的精确性、多个键合和解键合载体带来成本增加以及更低温的退火能力。最后,必须降低颗粒水平,尤其是在芯片放置和切割步骤中。

Brewer Science首席应用工程师Alice Guerrero表示:“要成功地将混合键合进行大批量生产,需要解决与缺陷控制、对准精度、热管理、晶圆翘曲、材料兼容性和工艺吞吐量相关的挑战。”

人工智能(AI)芯片组和模块是混合键合和先进封装的巨大驱动力。它们的高性能和高价格有助于推动行业发展。事实上,DRAM制造商正在评估从热压缩焊球键合转向混合键合的净收益。混合键合之后的下一代扩展是顺序3D集成,其中键合甚至延伸到薄膜。

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