中国科技两大捷报,麒麟9000S问世,清华大学EUV光刻机“工厂化”

壹百度科技 2023-09-16 18:35:26

近日,中国科技界传来两则令人振奋的消息,显示出中国在高端芯片制造领域的技术进步和自主创新能力。

首先,华为公司发布了其最新款的智能手机Mate 60 Pro,宣称其搭载了全球首个采用7纳米制程工艺的芯片——麒麟9000S。这款芯片由华为自主设计和中芯国际生产,具有64个内核、2.6GHz的主频、集成5G基带和Maleoon 910 GPU等先进特性,综合性能已经接近甚至超越5纳米范围内的其他产品。这意味着华为已经突破了美国对其芯片供应的限制,并且在芯片技术上实现了国际领先。

其次,清华大学工程物理系唐传祥教授研究组与国际合作团队在《自然》杂志上发表了一篇论文,报道了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(Steady-state microbunching,SSMB)的首个原理验证实验。基于SSMB原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源,这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因。

EUV光刻是集成电路芯片制造中最复杂和关键的工艺步骤,EUV光源是EUV光刻机的核心基础。目前世界上只有荷兰ASML公司能够提供EUV光刻机,并且价格昂贵。而大功率EUV光源的突破对于EUV光刻进一步的应用和发展至关重要。唐传祥教授表示,“基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率,并具备向更短波长扩展的潜力,为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。”这需要SSMB EUV光源的持续科技攻关,也需要上下游产业链的配合,才能获得真正成功。

这两则消息无疑为中国在高端芯片制造领域带来了新的希望和信心。中国正努力实现芯片自主研发和制造的目标,为推动科技创新和经济发展做出贡献。

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