绍兴要建一座相当于“28个足球场”的光刻机工厂

机械科技君 2025-03-11 00:43:31

根据最新公开信息,浙江省确实正在推进总投资50亿元的光刻机工厂建设项目。作者整理了一些关键信息:

一、项目核心信息投资规模绍兴市计划投入50亿元建设光刻机生产线,占地20万平方米,相当于28个标准足球场大小。技术定位聚焦28纳米制程技术,主要生产中低端光刻机,适用于LED芯片、功率器件等领域。产能目标预计2026年投产,年产量50-100台,相当于ASML年产能的1/5(ASML年产量约400台)。二、为何浙江能拿下"光刻机国家队"入场券?产业链配套杭州已有国产氟化氩光刻机研发基地,宁波具备半导体材料优势,绍兴本身是国家级芯片产业基地。人才储备浙江大学微电子学院每年输送300+专业人才,杭州电子科技大学开设全国首个"光刻机运维"专业。政策加持浙江省"1+5"集成电路产业规划,光刻机项目可享受15%企业所得税优惠。三、与ASML的"错位竞争"策略

维度

浙江工厂

ASML

技术路线

成熟制程(28nm)

尖端制程(3nm以下)

成本控制

设备单价约$3000万

EUV光刻机$1.5亿起

交货周期

6-8个月(国内配套)

18-24个月(出口限制)

维护响应

长三角工程师24小时到场

需荷兰总部技术支持

(数据来源:各项目规划文件)

四、投资者的三大关注点技术突破窗口期目前国产光刻机在双工件台(精度±1nm)和光源系统(193nm ArF激光)已实现突破,但光学镜头仍需进口。市场需求测算国内仅成熟制程芯片产线缺口达200+条,对应光刻机需求约500台。国际供应链风险关键部件如德国蔡司镜头的进口替代率不足30%,美日荷技术封锁仍是最大变数。五、业内评价两极分化

乐观派观点"这是中国版的ASML孵化器,就像京东方打破屏幕垄断一样,十年内中低端光刻机国产化率有望达70%" —— 半导体行业分析师张伟

谨慎派提醒"光刻机需要10万+精密零件协同运作,比造原子弹更复杂,不能低估技术沉淀周期" —— 中科院微电子所专家李峰

总结建议:该项目短期(3-5年)更适合关注国产替代红利的战略投资者,普通投资者需关注2026年首台设备交付后的良品率数据。若想布局,可重点跟踪上海微电子(光刻机整机)、华卓精科(双工件台)等核心供应商动态。

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机械科技君

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