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ASML对华出口或将松动？

日前荷兰首相斯霍夫在接受采访时表示，在荷兰光刻机巨头ASML对华出口产品的问题上，荷兰政府希望自行决定实施什么样的政策。

斯霍夫在出席世界经济论坛2025年年会期间接受采访时说，美国拜登政府就限制阿斯麦对华出口先进芯片制造设备向荷兰政府施加了相当大的压力，预计特朗普政府将延续这一策略。“我认为，我们自行决定实施什么样的政策非常重要。”

斯霍夫说，荷兰与中国保持着良好的贸易关系，将与中国就相关问题交换意见。

中国市场是ASML的重要收入来源，虽然当前公开信息并未完全披露ASML 2024年全年在中国市场的收入。但是，我们可以根据此前数据进行推算。

ASML 2024年第一季度财报净销售额为52.9亿欧元，利润为12.24 亿欧元，其中中国市场占据49%；而在第二季度财报中，ASML净销售额为62.43亿欧元，净利润为15.78亿欧元，中国市场仍占据49%；在第三季度财报中，ASML净销售额74.67 亿欧元，净利润20.77 亿欧元，中国市场占据47%。由此推算，ASML 2024年前三季度在中国大陆的营收占比约为48%，相关报道称，2024年前三季度ASML对华销售额攀升至 70 亿欧元。

目前ASML2024年第四季度财报尚未发布，根据此前预期推算，ASML 2024年全年净销售额预计为280亿欧元，若按中国大陆营收占比48%来计算，2024年全年ASML在中国市场的收入约为134.4亿欧元。

为什么中国市场在ASML中占据如此大的份额呢？此前，ASML曾表示，中国大陆客户持续投资用于生产主流芯片的成熟技术，来自中国大陆客户的需求一直很强劲，因此中国大陆系统净销售额按区域占比较高。

根据国际半导体协会统计，全球半导体产能继2023年增长5.5%后，预计2024年将增长6.4%，而中国大陆晶圆产能将以13%的增长率居全球之冠，随着中国大陆不断扩产，全球营收占比将会持续增长。

光刻机是ASML的主要营收和利润来源，光是在2024 年第二季度，光刻机收入就占据了ASML总营收的76.26%。

光刻机是半导体制造的核心设备，负责将设计好的集成电路图案 “印刷” 到硅片上。ASML 在全球光刻机市场长期占据主导地位，拥有全球市场85%的份额，在高端光刻机市场上，ASML的份额更是超过95%。ASML是全球唯一能生产 EUV 光刻机的厂商，中高端的浸润式 DUV 光刻机也被其垄断。

2024 年 1 月 1 日荷兰出口管制新规生效后，在所有的 DUV 光刻系统中，ASML 目前只能向中国大陆地区出口 Twinscan NXT:1980Di 产品，该型号的单次曝光分辨率为大于等于 38nm。尽管晶圆厂在理论上可以通过多次曝光技术利用该型号的光刻机制造出更小制程的芯片产品，但是会面临更多的困难，例如复杂的步骤、更高的成本和更低的良率。

此前，ASML允许向中国出口部分浸润式 DUV 光刻系统，如 NXT:2050i 及 NXT:2100i 光刻系统。但很可惜的是，2023 年荷兰政府部分撤销了这两款产品的出口许可证。

除了光刻机设备外，ASML 也会向中国出口一些与光刻技术相关的量测设备、检测设备等，用于半导体制造过程中的工艺控制和质量检测等环节。

此前ASML预测，到2025年，中国地区的营收可能只占ASML营收的20%。

为什么会出现这种情况呢？最直接的原因就是因为芯片出口禁令影响，ASML无法向中国市场出售先进的设备。值得注意的是，此前美国政府强化了对ASML的监管，要求ASML的所有对中国订单都必须公布。这也就意味着，ASML可以向中国出售低端光刻机，但是上了美国名单的高端光刻机，被禁止向中国出售。而就在美国总统权利交接之际，荷兰政府决定把ASML对华销售情况直接进行隐藏。政策转变的重要原因之一就是对光刻机出口做了限制之后，ASML损失惨重，2024年第三季度订单量仅为分析师此前预期的一半左右。

在先进制程受阻的背景下，中国市场在持续扩产成熟芯片，疯狂从国外购买设备。但是购买不可能一直无限制进行下去，囤积足够之后，肯定会放缓步伐。

最近几年，中国在浸润式 DUV 光刻系统方面有了一定的技术积累和进展。哈工大团队研制出的高精密激光干涉仪，能为 28nm 的浸润式 DUV 光刻机做技术支撑。国产氟化氪光刻机（110nm），其晶圆直径 300mm，照明波长 248nm，分辨率≤110nm，套刻精度≤25nm。国产氟化氩光刻机（65nm），其晶圆直径 300mm，照明波长 193nm，分辨率≤65nm，套刻精度≤8nm，已达到干式 DUV 光刻机的较高水平，离浸润式 DUV 只有一步之遥。

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