中秋佳节，国产光刻机传来大消息，工信部推广国之重器--氟化氩光刻机（分辨率《=65nm），发布于工信部近日的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中，这或将再次引爆A股光刻机相关概念股以及氟化氩光源相关企业，为此本文对近期市场说到的20相关概念股进行简析：

首先、仅北方华创2024股价上涨，其余19股2024股价均下跌，其中至纯科技、华峰测控、久吾高科、腾景科技、苏大维格、赛微电子、新莱应材、炬光科技2024年股价跌幅超30%

其次、有7只央企、地方国资股，北方华创、张江高科、上海电气、中微公司、海立股份、福晶科技、钢研纳克

第三、20只光刻机和氟化氩光源概念情况及名单

1、久吾高科、环保设备Ⅲ股、市值21.8 亿，氟化氩光源方面企业

2、腾景科技、光学元件股、市值27.6 亿，公司多波段合分束器已完成产品开发，进入半导体设备厂供应链

3、炬光科技、激光设备股、市值36.1 亿，上海微电子等企业提供了半导体激光退火系统以及核心元器件

4、美埃科技、环保设备Ⅲ股、市值36.8 亿，为上海微提供了光刻设备所需的洁净过滤产品

5、钢研纳克、专业服务股、市值38.0 亿，氟化氩光源方面企业

6、苏大维格、光学元件股、市值38.5 亿，向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件是该公司光刻机产品的重要部件。

7、蓝英装备、其他专用设备股、市值49.0 亿，提供清洗设备和解决方案，用于光刻机制造过程中。

8、海立股份、家电零部件股、市值57.9 亿，氟化氩光源方面企业，为上海微电子的相关设备提供冷却配套系统，并已实现供货。

9、新莱应材、包装股、市值65.8 亿，真空产品以及气体产品均可以应用到光刻机的设备中

10、至纯科技、半导体设备股、市值67.9 亿，在半导体湿制设备领域具有重要地位。

11、福晶科技、光学元件股、市值100.5 亿，研发KBBF晶体KBBF晶体是目前可直接倍频产生EUV激光的非线性光学晶体

12、赛微电子、集成电路制造股、市值102.2 亿，给ASML提供透镜系统MEMS部件和晶圆制造服务

13、华峰测控、半导体设备股、市值105.5 亿，专注于半导体测试设备的研发和生产。

14、晶方科技、集成电路封测股、市值111.3 亿，子公司Anteryon为全球领先的光学设计和晶圆级光学镜头制造商，是ASML光学平台和晶圆对位传感器的供应商

15、长川科技、半导体设备股、市值175.4 亿，提供集成电路测试设备。

16、张江高科、产业地产股、市值269.9 亿，氟化氩光源方面企业，上海微电子为其第四大股东。

17、盛美上海、半导体设备股、市值356.9 亿，主要提供半导体清洗设备。

18、上海电气、其他电源设备Ⅲ股、市值582.7 亿，上海微电子装备的第一大股东为并且在2021年1月宣布将继续承担光刻机等技术攻关任务。

19、中微公司、半导体设备股、市值779.6 亿，国内刻蚀机领域的领先企业。

20、北方华创、半导体设备股、市值1561.0 亿，国内最大的半导体设备供应商之一，产品包括刻蚀机、PVD、CVD等。