机械加工中，经常会遇到内螺纹加工，螺纹配合松紧很关键，需对螺纹部分尺寸偏差进行测量。如图，是一款螺母，要求测量内螺纹尺寸偏差，本方案是如何用电感位移传感器测量内螺纹内径偏差。

图1 测量示意图

本图为采用的测量装置台。螺纹导套按螺母螺纹规格加工成外螺纹，测量时螺母旋入导套。

传感器携带测点与螺纹导套牙底对齐，可通过调整垫片的厚度，让测点对到牙底。

图2 测量方案示意图

方案中，传感器上固定的测臂和测点如图，2个测点对称并高低不等设置，高度差等于螺纹的螺距大小的1/2。

图3 测量方案示意图

本图为测量时的位置状况。因为是比较测量，所以测量产品前，需用标准样件进行校准。调整并固定好传感器测臂测点，旋人标准样件，测量仪测量值定零。校准后取出标准件，就可以测量产品了。

图4 测量方案示意图

本图为测量时的各部件位置详图。从图中可以看到，传感器携带的测点，正好对称触及螺母内螺纹的内径点，与标准样件对比，就能知道螺纹内径的偏差了。测量仪可以直接读取偏差值。

图5 测量方案示意图

本次测量方案中应用到的产品为一体式弹性位移传感器与MD综合测量仪。一体式弹性位移传感器，有效量程：±0.55mm，分辨率0.1μm。MD综合测量仪是带有显示、运算、数据存储、反馈输出功能的综合测量仪。可以代替普通的量仪+PLC或者量仪+电脑的应用。

图6一体式弹性位移传感器

图7 MD综合测量仪

对于加工件的几何尺寸测量，比如高度、长度、厚度以及圆度、同心度、跳动度等，都可以采用位移传感器，结合信号处理放大器，对工件进行测量。测量的结果可以由电脑端SPC软件读取，以Excel格式保存，进行常规的统计分析，或者上传数据库等操作。