每一种行业,甚至每一家公司或工厂,对无尘室的要求可能都不一样。各公司在订定测试规格时,应依照自己的制程需求,在相关规范里取出自己适用的部份,并要求供货商与测试单位照办,必要时可以酌情修改测试标准,才能真正满足自己的需求。
首先:洁净度等级定义的模式应为:ClassX(atYμm)
其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm,0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)、Class100(0.2μm,0.5μm)、Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)。在Classes100(M3.5)andGreater(Class 100,1000,10000...),一般看一个粒径即可。在Classes Less than100(M3.5)(Class10,1...),一般要看多几个粒径。
第二:规定无尘室的状态,
例如:ClassX(atYμm),At-rest
1.空态(As-built)
设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。
2.静态(At-rest)
设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。
3.动态(Operational)
设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三:自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低。
例如:
Class10000(0.3μm<=10000),As-builtClass10000(0.5μm<=1000),As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。