构建此类车间需遵循严格的技术标准与工程规范，核心要求包括：

一、建筑设计与材料选择

1、结构设计

采用礼堂式或海湾式布局，洁净室与子晶圆厂（设备支持层）垂直分层，优化气流和管线布置

装配式结构优先，使用不锈钢、铝板等金属材料，避免木制品、纸板等产尘材料

2、材料性能

墙面/顶棚需平整、防静电、耐腐蚀；地面采用Epoxy或PVC防静电材料，并做防潮处理

门窗需气密性设计（如不锈钢材质），灯具/插座嵌入天花板以减少积尘

二、环境控制系统

空气处理系统

三级过滤（初效→中效→HEPA/ULPA）结合MAU（新风机组）+FFU（风机过滤单元）+DC（干冷盘管）系统，确保空气洁净度

备用电源与冗余设计保障系统连续运行，防止停机污染

温湿度与压差管理

精密空调需将温湿度波动控制在±0.5℃和±3%RH以内，光刻区需更高精度

压差梯度通过变频风机和风阀调节，防止交叉污染

三、设备与工艺配置

生产设备要求

设备需低振动、低发热，并配备局部排风装置处理工艺废气

工艺管道（特气、化学品）独立铺设，材质需耐腐蚀且密封性高

安全与环保

防火防爆设计（如防爆墙、气体灭火系统）、废水/废气处理设施符合环保法规

静电防护通过接地系统、离子风机和防静电工作服实现

四、人员与运营管理

人员培训与准入

进入需经过更衣（连体防尘服）、风淋（风速≥20m/s）和洁净室行为规范培训

禁止携带食品、手机等个人物品，严格限制非必要活动

监控与维护

实时监测粒子浓度、温湿度、压差等参数，数据记录系统需符合GMP标准

定期更换过滤器、清洁表面，设备维护计划需覆盖空态、静态和动态验收阶段