一、光刻机核心设备供应商新莱应材（300260）高纯管路系统唯一国产供应商，解决光刻机气体传输污染控制问题，认证壁垒极高富创精密（688409）精密结构件核心供应商，提供真空腔体等关键部件，技术对标ASML合作伙伴奥普光电（002338）中科院背景，承担光刻机物镜系统研发，军民技术协同转化华卓精科（拟上市）双工件台技术打破ASML垄断，直接授权新凯来使用二、光刻工艺设备配套至纯科技（603690）湿法清洗设备覆盖28nm制程，多重曝光工艺必备，国产化率不足20%盛美上海（688082）单片清洗设备龙头，技术达国际水平，配套新凯来前道制程芯源微（688037）国内唯一涂胶显影设备商，光刻前道关键环节，替代空间巨大蓝英装备（300293）清洗设备补充供应商，与至纯科技形成技术互补三、光刻核心材料光刻胶方向：彤程新材（603650） KrF/ArF胶国产主力，市占率超60% 上海新阳（300236） g/i线及KrF胶成熟，加速ArF研发 南大光电（300346） ArF胶通过验证，填补国内空白 光学元件方向：茂莱光学（688502） 深紫外镜头替代蔡司，毛利率60%+福晶科技（002222）激光晶体龙头，用于光源系统 掩模版：清溢光电（688138）中低端掩模版国产替代第二梯队 高纯材料：菲利华（300395）光刻机石英腔体全球四大供应商之一江丰电子（300666）溅射靶材龙头，客户含台积电、中芯 四、检测与量测设备精测电子（300567）电子束检测设备识别3nm缺陷，价格仅为KLA的60%中微公司（688012）刻蚀设备延伸至检测领域，等离子去胶机替代Lam华峰测控（688200）半导体测试设备龙头，覆盖光刻工艺参数检测五、气体与化学材料华特气体（688268）光刻用电子级气体国产化核心企业，已切入英特尔供应链雅克科技（002409）光刻胶辅助材料（显影液/剥离液）龙头，并购韩国技术沪硅产业（688126）12英寸硅片通过光刻验证，替代信越化学六、综合配套服务万业企业（600641）离子注入机+半导体基金双轮驱动，布局光刻全产业链正帆科技（688596）工艺介质供应系统专家，配套高纯气体传输华亚智能（003043）精密金属件供应商，客户含ASML、应用材料