CINNO Research产业资讯，三星电子的子公司、韩国最大的半导体设备企业Semens实现一直依赖进口的曝光加工用Track设备的韩国国产化。据悉三星电子每年将投入数千亿韩元购买该设备，预计替代效果巨大。
Semens公司6月24日表示，公司在韩国首次开发出半导体ArF-i曝光工艺用Track设备“Omega Prime”，继去年量产1号机出货后，今年开始生产2号机。
Track是在半导体制造过程中，为了在芯片上形成微电路（图案），均匀地涂布感光液（PR:Photo Resist），在曝光器上照射光线后再显现的设备。
一直以来，Semens一直生产用于KrF的Track设备。为了应对光源波长线宽变短的高性能曝光机，公司还开发了ArF-i设备。
ArF-I Track设备目前由日本最大的半导体设备企业东京电子（TEL）占据90%以上的市场份额，基本实现垄断。
ArF-I Track设备要求高纯度、高生产率和高精度。Semens为消除涂布与显像过程单元的调整偏差，开发并应用了烘烤温度固定，喷嘴调节等自动化系统。此外还配备了视觉监控功能系统、烘烤自动修复等技术。
Semens首席技术官崔吉贤表示:“半导体核心工艺设备Omega Prime的开发将对今后的进口替代效果产生很大的影响。今后将持续推出以高附加值为中心的独特和差异化的设备，成长为技术创新企业”。
