景初三年(239年),魏明帝曹叡驾崩,死前立年方八岁的养子曹芳为皇太子,以大将军曹爽、太尉司马懿为托孤重臣,共同辅佐少主。曹爽是魏武帝曹操养子曹真之子,他在辅政之初对司马懿礼敬有加,但后来逐渐专权,排挤司马懿的势力,通过一系列手段加强了对京师禁军和朝政的控制。司马懿一面暂时容忍曹爽的专权,一面也有所行动。他在朝中老臣和士民中积累了更大威望,并安排暗地里招募死士三千,散在民间、招之即来。正始八年(247年),司马懿称病不朝,韬光养晦,静观其变。正始九年(248年),他装出老之将死的病态,骗过了上门刺探情况的曹爽亲信、荆州刺史李胜,使曹爽放松了对自己的戒备。
正始十年(249年)正月初六,少帝曹芳出洛阳,南渡洛水、伊水,到高平陵祭扫明帝墓,曹爽与其弟曹羲、曹训、曹彦等全部陪同前往。司马懿见洛阳城内曹爽力量空虚,立即发动政变,称奉郭太后懿旨,下令关闭洛阳城门,控制中央武库,令司徒高柔持节代理曹爽大将军之职,接管曹爽军营;令太仆王观代理曹羲中领军之职,接管曹羲统领的禁军;令中护军司马师领禁军围困曹爽大将军府。
司马懿呈送奏章给曹芳,称曹爽背弃先帝遗命,专权擅政,自比为君主;结党控制禁军,监视陛下起居;离间太后和陛下,伤害骨肉亲情。“我”与太尉蒋济、尚书令司马孚等都认为曹爽有谋逆之心,他们兄弟不宜再执掌军权,已奏请皇太后下令,罢免曹爽兄弟官职,以侯爵的身份即刻回府,不得阻止陛下回城。“我”今领兵在洛水浮桥严阵以待,若他们胆敢扣留陛下,一律军法从事。
曹爽接到奏章后,惊慌失措,不敢告诉曹芳,只得将天子銮驾留在伊水之南,伐木构筑工事,调兵数千守卫。大司农桓范赶到后,建议曹爽挟天子以令诸侯,召集四方兵马勤王,但曹爽犹豫不决。司马懿接连派侍中许允、尚书陈泰、尹大目等人劝说曹爽投降,并允诺其只要罢兵息马,交出兵权,仍可保留爵位。曹爽犹豫了一夜,最后认为投降虽然会失去政治权力,但以侯爵的身份应仍能享受荣华富贵,于是放弃抵抗,而请皇帝罢免自己,并向司马懿认罪。
曹爽兄弟罢官后随即回到府邸。正月初十(249年2月9日),与曹爽往来甚密的朝中侍从张当,在廷尉严刑拷问之下供称曹爽和何晏计划在三月造反,于是曹爽与其同伙都被捕,而桓范亦因曾经扬言司马懿谋反,被视为诬告而下狱,与曹爽等人一同处死,并且诛灭三族。高平陵之变后,司马懿及司马氏家族势力迅速崛起。司马懿通过此次政变,掌控了朝廷的军政大权,成为曹魏政权实际上的最高决策者。此后,司马氏家族不断巩固和扩大自己的势力范围。
自此以后,曹魏政权的权力逐渐向司马氏倾斜和集中。司马懿之后,其子孙司马师、司马昭等相继专权,曹魏皇帝逐渐沦为傀儡,朝廷的重要职位也多被司马氏的人占据,权力结构从原来的曹魏宗室主导转变为司马氏主导,为西晋的建立铺平了道路。