三星终止8代垂直蒸镀OLED研发线,爱发科已拆除设备

科技来点花生米 2024-04-14 02:02:34

WitDisplay消息,近日,日本真空设备制造商爱发科拆除了安装在京畿道平泽Hyungok工厂的第八代垂直OLED蒸镀设备。该设备由三星显示通过与爱发科的联合投资制造,以验证垂直蒸镀工艺。行业人士认为,未来,不太可能在韩国引入垂直蒸镀技术的大规模生产,并且被解释为该项目已完全终止。

蒸镀工艺是OLED制造的核心工艺之一,制约着OLED的良率和产能。根据精密金属掩膜板(FMM)放置方向,蒸镀工艺可分为水平蒸镀以及垂直蒸镀。当前,主流的OLED工艺包括水平蒸镀+FMM(Fine Metal Mask) LTPS OLED、水平蒸镀+OMM(Open Metal Mask) WOLED、水平蒸镀+OMM QD OLED。

不过,水平蒸镀工艺并不完美,一直存在“重力下垂”的技术瓶颈。据介绍,FMM是超薄的金属遮罩,当水平放置时,在重力的作用下FMM中间与边缘存在一定的偏移量,而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明显。这不利于提高AMOLED的PPI,使混色良率降低,大幅提高了AMOLED生产成本。

而垂直蒸镀工艺最大的优点就能避免水平蒸镀工艺FMM“重力下垂”带来的干扰。垂直蒸镀工艺则将FMM垂直放置,FMM和玻璃基板形变小,蒸镀更均匀,像素位置精度(PPA)更高,混色更小,同时可以提升分辨率,降低功耗、成本,成为一个重要的蒸镀工艺制程方向。

当前,只有JDI拥有一条垂直蒸镀工艺低世代量产线,主要用于生产手表用的OLED。JDI表示,垂直方式蒸镀设备所占面积相比目前的水平方式蒸镀设备的减少30%。业内人士也向WitDisplay透露,JDI为苹果手表供应的OLED就是采用垂直蒸镀工艺生产的。

如果FMM从水平位置变成垂直位置,这种“超薄平板中心凹陷”的重力效应就基本会消失——但是,媒体报道也指出“业内没有垂直沉积的经验可循”,垂直沉积方式,是不是面临更多的材料、设备和OLED凝华力学变化等诸多方面的新问题。

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