突发,国产光刻机终于来了,华为Mate60跌到白菜价心寒

手机数码世纪说 2024-11-14 13:34:49

由于国产28nm制程技术的量产步伐相对滞后,这一领域内的后来者不得不借助更为尖端的ASML NXT:1980光刻机来实现28nm的量产目标。尽管该机型在分辨率上依旧维持在≤38nm的水准,但其套刻精度却实现了质的飞跃,达到了令人瞩目的<2.5nm。这一突破性的进步赋予了晶圆制造商通过多重曝光技术,进而探索并实现7nm制程制造的潜能。

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此番曝光的65nm分辨率国产DUV光刻机,似乎只是90nm分辨率国产光刻机的优化升级版,其应用范围仍局限于55-65nm的成熟制程芯片制造,与公众对28nm制程芯片制造的期待尚有较大差距。尽管如此,相较于之前的90nm分辨率国产光刻机,新的65nm版本无疑迈出了一小步。但我们必须保持清醒的头脑,正视与国外先进水平的差距,切忌盲目乐观。

对于国产光刻机制造商而言,从干式DUV向浸没式DUV的转型之路绝非坦途,其间布满了亟待攻克的技术难关。回溯至2010年代,ASML正是凭借浸没式DUV光刻机(早在2006年便推出了首台量产的浸入式DUV光刻机XT:1700i),力挫佳能与尼康这两大光刻机巨头,从而奠定了其行业霸主的地位。

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