清华SSMB团队也完成了SSMB-EUV光源的整体初步物理设计, 该光源方案具体可简述为: 首先利用高重频微波电子枪产生一串电子束, 长度百纳秒量级; 产生的电子束将在一段直线加速腔中被加速到约400 MeV, 此时的电子束是脉冲分布的, 间隔为加速所用微波的周期(约10 cm); 之后将这些电子束团注入到展束环中对束团进行纵向的拉伸, 使电流分布由梳状得到展平, 得到在纵向上均匀分布的准连续束团; 之后将该束团从展束环引出, 注入到SSMB主环中进行储存, 在主环中, 电子束由于激光调制器的聚束作用并在量子激发和辐射阻尼平衡下保持微聚束状态, 束长在数十纳米量级; 该微聚束在辐射段被进一步压缩到3 nm左右, 实现波长13.5 nm的强相干辐射, 从而输出千瓦量级的EUV光; 电子束发光损失的能量将由高重频直线感应加速腔补充.

网友:我们有三条路，第一条华为+上海光机所+宇量昇，是正统国家队，走500W LPP光源+复杂镜头组的技术路线。第二条绕过目前光刻机的光源，用广东智能机器研究院(广智院)+华中科技大，他们在尝试一种采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器的技术路线。第三条牛啦，颠覆性的。就是文章里面说的，必将成为主流，也是超越外国的关键。清华大学主导的1千瓦级SSMB-EUV光源，直接把光刻机光源变成基础设施——同步辐射光源。直接把光源变成类似工业园中的电力、蒸汽、纯水等可购买原料。