导读:5月21日《环球时报》援引外媒报道称,有美国官员表示,ASML向荷兰官员保证可以远程瘫痪(remotely disable)台积电的极紫外光刻机(EUV)。
图:正在调试的ASML员工
彭博社援引两位人士的说法称,美官员私下向荷兰及台当局官员表达了忧虑。“荷兰政府与ASML就这一问题进行商讨时,ASML向官员保证,该公司有能力远程停止机器运作,作为锁死开关(kill switch)。ASML已就可能发生的情况进行模拟,以便妥善评估风险。”
但是,此消息并未得到ASML、台积电和荷兰贸易部任何一方的回应和确认。
对于“ASML能远端瘫痪台积电EUV”的说法,岛内网民先炸了锅:“台积电花了几十亿买机台,结果人家说关就关”,“你能远端关机,那随时都能关,美国要转移制程,就叫荷兰把它关了”,“台积电被荷兰掐住脖子了”。
图:ASML的EUV
ASML从2016年开发出EUV以来,已向全球出货200多台,其中台积电拥有的EUV数量最多,是ASML的最大单一用户。按照ASML近期公布的一季度财报,总销售额52.9亿欧元,其中包含13.2亿欧元的服务和安装费用,占到25%,同时还包括销售二手光刻机的营收。
岛内业界人士称,EUV系统更复杂,需要频繁维护,如果没有ASML提供的备件,这些机器很快就会停止工作。ASML为某些客户提供联合服务合同,让他们自己进行一些日常维护,从而允许台积电等客户访问他们自己的机器系统。同时,ASML表示无法访问客户的专有数据。
由于半导体制造的复杂性,包括ASML在内的Vendor(半导体设备厂商)需要为fab客户提供整个生命周期的服务,包括新设备的安装、调试,客户EE/PE等人员培训,以及量产后的故障维修、升级等。
理论上,无论ASML是否能够远程关闭EUV,任何采购其机器的晶圆厂都无法在绕过ASML的情况下进行正常商业量产,威胁“随时关闭”属于多此一举。
图:台积电是最大EUV买家
据国内权威媒体报道,近期有非半导体行业人士开始借ASML、台积电炒作两岸议题。
在5月15日举行的国台办例行新闻发布会上,国台办发言人陈斌华表示,一段时间以来,美国反华势力把台积电当“武器”、当“炮灰”,频频抛出“炸毁台积电”、“破坏台积电设备”、“远程瘫痪台积电”等言论,彻底暴露出他们的卑劣心理和邪恶本质。