在大家眼里，TOTO 可是卫浴行业的大巨头。1917 年，大仓和亲创办了东洋陶器株式会社，这就是 TOTO 的前身，从那以后，TOTO 在卫浴行业都干了一百多年了。这么多年，TOTO 靠着像 Washlet 智能马桶、超漩式冲洗坐便器这些卫浴产品，在全球都很有名。它的产品到处都能看到，家里、酒店、公共建筑都在用，一提高品质卫浴，大家就会想到 TOTO。

谁能料到，这么一家在卫浴界稳稳当当的企业，居然跑去搞半导体业务了，跨界跨得让人完全没想到。这一变化，就跟往平静的湖水里扔了块大石头似的，一下子就引起了好多人的关注。

TOTO 与半导体的缘分，要从 20 世纪 80 年代说起。彼时，半导体产业正处于快速发展的关键时期，对各种高性能材料的需求日益增长。TOTO 凭借在陶瓷材料领域深厚的技术积累，敏锐地捕捉到了这一市场机遇，毅然决定涉足半导体相关材料的研发，为半导体产业开发高性能精密陶瓷 。

在最初的阶段，TOTO 在半导体业务上的投入并没有立刻见到回报，多年来处于无利可图的状态。这一过程充满了艰辛与挑战，技术研发的高难度、市场竞争的激烈以及客户对新产品的接受过程缓慢等因素，都使得 TOTO 的半导体业务发展之路困难重重。但 TOTO 并没有因此而放弃，持续不断地投入研发资源，坚持技术创新。

随着时间的推移，半导体市场迎来了蓬勃发展的黄金时期。尤其是近年来，人工智能、大数据、5G 通信等新兴技术的崛起，极大地推动了半导体市场的需求增长。TOTO 长期积累的技术优势开始显现，其半导体业务也迎来了转机。在 2022 财政年度，TOTO 的半导体业务营运利润大幅跃升，首次实现了显著的盈利 。这一成绩的取得，不仅是对 TOTO 多年来坚持技术研发的最好回报，也标志着其在半导体领域开始崭露头角。

在 TOTO 的半导体业务中，静电吸盘（ESC）是核心产品，也是其在半导体领域立足的关键。

静电吸盘是利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具，在半导体制造中作用重大。芯片制造时，硅晶圆需在复杂工艺环境下精确加工，静电吸盘能在电路蚀刻、薄膜沉积、离子注入等关键工艺中，靠静电力固定硅晶圆，防止位移晃动，还能维持晶圆温度分布均匀，保证芯片制造精度和质量。

静电吸盘利用异向电荷相吸特性工作，通电后与硅晶圆间产生不同电荷，靠库仑力吸附硅晶圆。与传统机械夹持、真空吸附相比，它吸附均匀，能抑制晶圆变形，污染小，适合高真空环境下的半导体制造工艺。

在极紫外光（EUV）光刻这一关键制程中，静电吸盘不可或缺。EUV 光刻对工艺环境要求高，需在高真空环境运行，静电吸盘凭借适用于高真空环境和稳定夹持力的特性，确保硅晶圆稳定，提高光刻精度和效率。在化学气相沉积（CVD）等工艺中，它也能为硅晶圆提供稳定支撑，保证薄膜沉积质量。

在半导体制造领域，技术的革新日新月异，每一次的突破都可能带来行业格局的巨大变化。TOTO 在静电吸盘技术的研发过程中，面临着诸多技术难题。其中，高性能陶瓷材料的特性优化是一个关键挑战。用于制造静电吸盘的高性能陶瓷虽然具有硬度高、耐高温等优点，但也存在易脆的问题，这在一定程度上限制了静电吸盘的使用寿命和性能稳定性。

TOTO 充分发挥其在卫浴产品制造过程中积累的成型与烧成技术优势，通过对材料配方和生产工艺的不断优化，成功制造出了抗裂性强的均质陶瓷材料。这种材料不仅能够满足半导体制造过程中对静电吸盘高强度和高稳定性的要求，还在一定程度上提高了产品的可靠性和耐用性 。例如，TOTO 在陶瓷材料的配方中加入了特殊的添加剂，这些添加剂能够改善陶瓷的内部结构，增强其韧性，从而有效解决了陶瓷材料易脆的问题。在烧成工艺方面，TOTO 采用了先进的控温技术和压力控制技术，精确控制陶瓷的烧成过程，确保陶瓷材料的质量均匀性和稳定性。

在制造环节，TOTO 同样投入了大量的资金和精力。2020 年，公司斥资约 118 亿日元在日本大分县的制造中心建造了一座现代化的生产设施 。这座新的生产设施配备了先进的生产设备和自动化生产线，大大提高了生产效率和产品质量。同时，在 2020 年 4 月至 2024 年 4 月期间，TOTO 将陶瓷生产员工人数增加了约 20%，并计划进一步扩充人员规模。通过这些举措，TOTO 不断提升自身的产能，以满足半导体市场对静电吸盘日益增长的需求。

为了确保产品质量，TOTO 还引入了高精密显微镜技术。这项技术最初应用于卫浴产品的质量检测，用于检查马桶表面的微小瑕疵，防止污垢附着。在静电吸盘的生产过程中，TOTO 将这一技术应用于产品检测，成功发现了生产过程中存在的异物颗粒等问题。原来，在早期的生产中，大部分工作依赖人工操作，且无尘室标准较低，导致产品受到污染，影响了产品质量。通过引入高精密显微镜技术，TOTO 能够及时发现并解决这些问题，提高了产品的良品率 。例如，在一次生产检测中，通过高精密显微镜发现静电吸盘表面存在微小的化妆品粉末颗粒，TOTO 立即对生产流程进行了优化，加强了无尘室的管理和员工的操作规范培训，从而有效避免了类似问题的再次发生。

从市场表现看，TOTO 半导体业务增长强劲。2024 财年前三季（2024 年 4 月 - 12 月），其 “新领域” 业务（含半导体业务）营收 344 亿日元（约 2.25 亿美元或 16.36 亿元人民币），同比增 31.8%，营业利润 142 亿日元（约 0.93 亿美元或 6.75 亿元人民币），同比涨 84.4% ，预计今年半导体业务营业利润超 1 亿美元。这得益于半导体市场增长及 TOTO 在技术研发和市场拓展上的努力，随着市场扩张，对关键零部件需求增加，TOTO 凭优质产品和技术实力实现营收与利润双增长。

在全球静电卡盘市场，TOTO 是重要参与者。全球核心厂商有 Applied Materials、Lam Research、SHINKO、TOTO 和 Sumitomo Osaka Cement 等，前五大厂商占全球约 93% 份额。TOTO 虽份额不及传统半导体设备制造商，但凭技术优势和产品特点赢得市场，其静电吸盘采用高性能陶瓷材料，经特殊处理，在硬度、耐高温、抗裂性等方面表现出色，先进技术和严格质量控制体系确保了产品稳定性与可靠性。

不过，TOTO 面临激烈竞争。美国 AMAT 和 Lam Research 有先进技术、丰富经验、强大市场影响力和客户资源，通过整机配套售卖静电卡盘占据较大份额。日本新光电气等企业也竞争力强，在技术研发和产品创新投入大，不断推出新产品和解决方案。在此环境下，TOTO 需加大研发投入，提升产品性能质量，优化生产流程，降低成本，加强市场拓展和客户服务，以提高竞争力，巩固和扩大市场份额。

展望未来，TOTO 对半导体业务有着清晰而宏伟的发展规划。TOTO 计划进一步扩大半导体业务规模，将其打造成为与住宅设备业务并列的核心支柱。公司预计到 2030 年，通过持续的技术创新和市场拓展，不断提升半导体业务的销售额，为公司带来更丰厚的利润。

在业务拓展方面，TOTO 将目光投向了切割、封装等下游制程。随着半导体技术的不断发展，3D 堆叠技术等先进制程逐渐兴起，对基板材料和相关零部件的性能提出了更高的要求。TOTO 凭借在陶瓷材料领域的技术优势，有望在这些下游制程中找到新的应用场景和发展机遇。例如，在 3D 堆叠技术中，需要使用高性能的基板材料来确保芯片之间的信号传输和散热性能。TOTO 的陶瓷材料具有良好的绝缘性、导热性和机械性能，经过进一步的研发和改进，有望应用于 3D 堆叠技术的基板制造，为半导体行业的发展提供更优质的材料解决方案 。

TOTO 还计划利用其在陶瓷材料方面的技术积累，开发更多种类的半导体相关产品，实现产品多元化布局。除了静电吸盘，公司可能会探索开发其他半导体制造设备中的关键零部件，如陶瓷基片、散热模块等。这些产品不仅可以满足半导体市场对高性能零部件的需求，还能进一步提升 TOTO 在半导体领域的市场竞争力和品牌影响力。例如，陶瓷基片在半导体封装中起着重要的支撑和电气连接作用，TOTO 可以利用其在陶瓷材料成型和烧结工艺方面的优势，开发出具有高精度、高可靠性的陶瓷基片产品，满足半导体封装行业对高性能基片的需求。

TOTO 从卫浴行业跨界半导体领域的成功转型，为众多传统企业提供了宝贵的经验和启示。在当今快速发展的科技时代，市场环境瞬息万变，传统企业面临着巨大的挑战和机遇。TOTO 的案例表明，企业要想在激烈的市场竞争中保持竞争力，就必须勇于创新，积极寻求新的发展机遇。

创新是传统企业转型的核心驱动力。TOTO 在半导体业务的发展过程中，始终坚持技术创新，不断突破技术难题，提升产品性能和质量。通过将陶瓷材料技术与半导体制造工艺相结合，TOTO 成功开发出了具有独特优势的静电吸盘产品，满足了半导体市场对高性能零部件的需求。这种创新思维和技术融合的能力，是 TOTO 在半导体领域取得成功的关键。传统企业在转型过程中，应加大研发投入，培养创新人才，鼓励技术创新和产品创新，不断提升自身的核心竞争力。

技术融合是传统企业实现跨界转型的重要途径。TOTO 凭借在卫浴产品制造过程中积累的陶瓷材料技术、成型与烧成技术以及质量检测技术等，成功应用于半导体业务的研发和生产，实现了技术的跨界融合。这种技术融合不仅为 TOTO 的半导体业务发展提供了有力支持，也为其他传统企业提供了借鉴。传统企业在转型过程中，应深入挖掘自身的技术优势，寻找与新兴领域的技术契合点，通过技术融合实现业务的拓展和升级。

此外，传统企业在转型过程中还需要具备敏锐的市场洞察力和果断的决策能力。TOTO 早在 20 世纪 80 年代就敏锐地捕捉到了半导体产业对高性能材料的需求，果断决定涉足半导体相关材料的研发，尽管初期面临诸多困难，但始终坚持投入，最终迎来了市场的回报。企业要密切关注市场动态和行业发展趋势，及时发现潜在的市场机遇，并敢于做出决策，勇于尝试新的业务领域。

TOTO 的半导体业务发展历程是一个传统企业成功跨界转型的典范。它不仅展示了 TOTO 在技术创新和市场拓展方面的实力，也为整个行业的发展带来了新的思路和机遇。相信在未来，随着 TOTO 在半导体领域的不断深耕和发展，以及其在技术创新和市场拓展方面的持续努力，它将在半导体行业中占据更加重要的地位，为全球半导体产业的发展做出更大的贡献。同时，TOTO 的成功经验也将激励更多的传统企业勇敢地迈出转型的步伐，积极探索新的发展路径，实现自身的可持续发展 。