在半导体制造领域,光刻机被誉为“芯片工业的皇冠”,然而即使是0.01℃的温度波动,也可能导致光刻胶曝光形变。这一行业痛点,正是南京拓展科技旗下企业,自主研发的精密环控柜所攻克的核心方向。
截止目前,精密环控柜可实现最高±0.002℃温控精度与十级以上洁净度控制,持续领跑超高精密环控技术革新。同时拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。目前,我们拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板领军企业,与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。
极测精密环控柜专为光刻机、激光干涉仪等超精密设备设计,为半导体制造构建“零干扰”环境。设备采用闭环气流循环系统,在EC风机驱动下,气流以精密算法规划的路径均匀覆盖设备内部,配合自主研发的高精度PID温控模块,实现关键区域静态温度波动仅±2mK,极大减少温度梯度对光刻机光学系统的干扰。与此同时,湿度稳定性控制在±0.5%范围内,避免晶圆表面因湿度变化产生冷凝或氧化,从源头保障曝光工艺的一致性。
洁净度控制同样是半导体生产的生命线。极测精密环控柜内,工作区洁净度可优于ISO Class3标准,有效防止微尘附着于光刻机透镜或晶圆表面。这一性能已在国内某头部晶圆厂得到验证:引入极测环控柜后,其28nm工艺芯片的线宽良率提升12%,年度返工成本降低超800万元。
更值得关注的是,该设备支持长周期稳定运行,完美适配半导体无尘车间的高强度生产需求。通过实时数据监测系统,工程师可查看温湿度曲线、压力波动等参数,运行状态、故障状态等事件同步记录,查询一目了然,为工艺优化提供数据支撑。
对于追求5nm乃至3nm制程的半导体企业而言,极测精密环控柜不仅是环境控制设备,更是迈向高端芯片制造的“隐形护盾”。通过温控与洁净环境管理的双重技术突破,极测正助力全球半导体产业打破良率天花板。