大家有没有发现,最近我国的科技方面不断震惊全球,像AI领域的DEEPSEEK、机器人领域的宇树科技等。这充分说明,我们不断加强自研,具备了科技爆发的基础。
其实,在芯片领域我们也有很多突破,得益于美方不断加码制裁,不仅华为实现麒麟芯片回归,国产EUV光刻机方面也取得重要进展,所以外媒表示EUV光刻机突变了。

近几年,美方不断扩大芯片限制,把光刻机当成了制裁的工具,不断扩大限制。因为光刻机是芯片制造过程中的核心设备,还是我们大陆半导体产业链中最薄弱的环节。
然而,美方并不能生产光刻机,全球90%以上的光刻机来自荷兰ASML,并且也只有ASML一家能够生产EUV。于是,美方就想方设法向荷兰施压,限制ASML出货。
之前,美方主要是限制高端EUV光刻机,后来又扩大到了限制浸润式DUV光刻机。

然而,美方越是扩大芯片限制,我们大陆的芯片产业发展就越快,不仅成熟制程芯片产能大幅提升,连先进制程芯片都有所突破,重点就是华为自产麒麟达到7nm性能。
并且经过美方调查,根本没有用到任何美系技术,这让他们不得不怀疑我们已经突破了浸润式DUV。这方面恐怕ASML心里也明白,所以才想方设法出货浸润式DUV。
不过,高端EUV方面限制的还是非常严格,连ASML也不敢私下对我们出货EUV。

而EUV是生产5nm及以下先进制程芯片必不可少的,我们想要实现尖端芯片,就需要EUV光刻机。尽管用浸润式DUV也能实现5nm,但根本不合适,再往下更不行。
然而,EUV技术号称人类科技的巅峰,技术门槛非常高,包含超10万个精密配件。
尽管EUV突破难度非常大,但问题摆在我们面前,哪有不突破的道理。只要我们下定决心突破,那就只是时间问题,因为我们连北斗、空间站等都行,EUV当然也行。

值得一提的是,我们早就制定了相关计划,早就开始了相关技术的研发。经过了7年多的技术攻坚,近期陆续公布了EUV三大技术路线,这恐怕连ASML都始料未及呀。
首先是上海微电子公布的LPP 光源专利。通过优化锡靶轰击技术,能将光源收集效率提升15%, 还能减少30%镜面污染,这是ASML耗时15年攻克的无人控制难题。
该技术不仅能减少成本,还能提高设备维护效率,将为未来国产EUV发展提供支撑。

其次是哈工大公布的DPP技术路线,采用创新的放电等离子体技术,颠覆了传统EUV技术路径,通过高压电场激发锡云产生等离子体,能量转换效率是ASML2.25倍。
哈工大方案的能量转换效率达4.5%,光源系统体积缩小40%,维护成本降低50%。
再者就是上海光源推出的FEL路线,基于同步辐射加速器,研发出直径28米的小型化自由电子激光装置,可输出波长13.5nm极紫外光源,提供了新型光源解决方案。

关键是,我们不只是在EUV光源技术上实现了突破,其他部件也不例外,像哈工大还有长脉冲激光器,华为公布了反射式物镜专利,中科院推出双工件台系统,等等。
这说明,我们国产EUV光刻机研发已经完成了多个基础性的准备,只差临门一脚了。
对此,有外媒直接评价道,光刻机情况突变了,没想到中国EUV进步这么快,难怪连ASML都坐不住了,开始顶着美方的压力,不对外公布对华销售光刻机的数据了。

一旦我们国产EUV实现突破,恐怕美西方的芯片霸权将会彻底终结,ASML的垄断也将成为历史。因此,他们如今最好的出路就是扩大跟我们的合作,以免失去机会。
因为我们已经创造了很多奇迹,像一穷二白时就能突破“两弹一星”,在国外全面封锁的情况下又突破盾构机、北斗、空间站等,相信在国产EUV上也能再次创造奇迹!