央视:深圳企业造出可测芯片的1nm测量仪

立创 2023-12-08 16:33:35

导读:12月7日据央视财经报道,其“专精特新 制造强国”系列节目报道深圳市中图仪器股份有限公司制造出应用于半导体行业的显微测量仪。

图:CCTV财经据报道,深圳市中图仪器股份有限公司历经18年用心打磨15把硬核科技“尺”,从纳米到百米,从接触式到非接触式,不断拓展工业测量领域全尺寸链条。据公司董事长马俊杰介绍,其公司制造的显微测量仪,分辨率已达到了0.1纳米,在半导体领域已经大量使用,能够直接测量芯片。

图:对晶圆表面的6.1nm显微测量(CCTV)例如,一枚看似光滑的晶圆,在显微测量仪下,表面看上去依然是错落有致,经过测量,高度差仅有6.1纳米,但还是需将它切割成更小的方块,才能使用。此外,他们公司生产的闪测仪,测量速度非常快,他手机上的一块精密结构件,只需要几秒钟,几百个尺寸直接显示出来,而且达到了微米级的精度。除了微小结构件外,他们团队也能测量巨型工业工件,研发的激光跟踪仪能够测量百米尺寸,是唯一同时具有微米级别测量精度,和百米工作空间的高性能光电仪器。

图:中图仪器的测量仪器(CCTV)据悉,马俊杰毕业于清华大学精密仪器专业,后在研究所工作期间,他发现实验室里的精密仪器全都来自国外,这让他产生了创业做国产几何测量仪的想法。虽然他们公司18年来只做了15台测量仪,但是每一台都极具特色,均能解决工业生产中的测量痛点问题。

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