上海凯世通半导体股份有限公司董事长朱世会

编者按：半导体设备关乎着中国半导体自立自强的成败，离子注入是半导体设备三大关键环节之一。目前中国离子注入设备进展如何，未来前景如何？上海凯世通半导体股份有限公司董事长朱世会在辞旧迎新之际，奉上凯世通的思考与展望。

2024年是国内集成电路设备行业快速发展的一年，在“实体清单”等外部制裁加码背景下，自主可控和国产替代进程加快。离子注入机是《国家集成电路产业发展推进纲要》要求重点发展的三种关键装备（光刻机、刻蚀机、离子注入机）之一，国产化率仅为个位数。凯世通是国产高端集成电路离子注入机产业化领跑者，2024年在设备交付、客户拓展、产品研发、本土供应链培育等方面均取得重要突破。展望2025年，凯世通将在战略实控人先导科技集团、母公司万业企业带领下，坚持第一性原理、自主创新，把握国产化机遇，为客户提供更加稳定可靠的离子注入设备与服务解决方案。

随着集成电路制造工艺向先进技术节点演进与特色工艺生态创新，离子注入机市场面临旺盛需求。2024年凯世通紧盯市场前沿动向，紧密围绕客户需求，推动产品研发与产业化再上台阶：面向逻辑、存储、功率等应用，当年向国内客户交付设备超20台，累计服务11家国内12英寸主流晶圆厂客户；针对国产化空白领域，持续创新研制并交付了首台面向CIS的离子注入机，具备优异的金属污染控制、高精度注入角度控制等优势，满足下游客户严苛要求；深化“链主”功能，带动特种电源、高精度气体流量计等一批关键零部件国产化攻关；凭借优异的创新实力，荣获上海市科技进步奖一等奖，入选国家级专精特新小巨人企业。

面向未来，在生成式AI、高性能计算、自动驾驶等旺盛需求带动下，伴随芯片特征尺寸缩微与超越摩尔定律带来的创新应用，离子注入机行业预计将保持较好的增长态势，国产集成电路离子注入机企业有望加快市场渗透与份额提升。凯世通将全面融合先导科技集团在科技材料、关键零部件等领域的强大资源，积极践行与服务新质生产力，深化全品类离子注入机应用创新与国产供应链建设，提升客户服务质量，拓展市场应用，加快打造国际一流的离子注入机品牌，为国内集成电路产业发展注入持续动力。