低温泵是利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵，是目前具有最高极限真空的抽气泵。它主要用于大型真空系统，如高能物理、超导材料的制备、宇航空间模拟站等要求高清洁、无污染、大抽速、高真空和超高真空等场合。低温泵又称冷凝泵、深冷泵。按其工作原理又可分为低温吸附泵、低温冷凝泵、致冷机低温泵。前两种泵直接使用低温液体（液氮、液氦等）来进行冷却的，成本较高，通常仅作为辅助抽气手段；致冷机低温泵是利用制冷机产生的深低温来进行抽气的泵，其基本结构如图1-4所示。在制冷机的第一级冷头上，装有辐射屏和辐射挡板，温度处于50-77K，用以冷凝抽除水蒸汽和二氧化碳等气体，同时还能屏蔽真空室的热辐射，保护第二级冷头和深冷板；深冷板装在第二级冷头上，温度为10-20K，板正面光滑的金属表面可以去除氮、氧等气体，反面的活性碳可以吸附氢、氦、氖等气体。通过两极冷头的作用，可以达到去除各种气体的目的，从而获得超高真空状态。

低温泵作为捕获泵，能用来捕集各种包括有害的或易燃易爆气体，使其凝结在制冷板上，以达到抽气的目的。但是，工作一段时间后，低温泵的低温排气能力会降低，因此必须经“再生”处理，即清除低温凝结层。再生时必须遵循以下几点要求：

（1）一旦开始再生处理，就必须清除彻底。这是因为局部升温时会使屏蔽板上冷凝的大量水蒸气转移到内部的深冷吸气板上，严重损害低温泵的抽气能力。

（2）再生时应使凝结层稳定蒸发，一定不能使系统内气体压力超过允许值，否则在除氢这类易燃易爆的气体时，一旦漏入空气就有爆炸的危险。

（3）再生时，需严防来自前级泵的碳氢化合物进入低温泵内污染吸气面，因此要求抽气时间尽可能短。

图1-4 低温泵结构示意图