近日，南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司宣布重大技术进展，公司与国内半导体设备厂商签订战略协议，将全面自主研发适配高端光刻机的微环境控制系统。该套国产系统将完整实现、百级洁净度维持，技术指标对标国际主流光刻机配置。

值得关注的是，此次研发采用完全自主技术路线。据极测技术负责人透露，系统从硬件模组到控制算法均实现原创开发，在保持同等性能前提下较常规系统能耗降低约50%以上。这意味着国产替代方案不仅打破技术封锁，更实现了迭代升级。

作为国内精密环境控制领域的破局者，极测（南京）此前已成功为国产光刻机、晶圆量测设备提供全套环境解决方案。此次战略突破标志着企业正式进入高端光刻机核心子系统供应商序列，其自主研发的温控系统、超净气流组织系统等专利技术，已通过国内头部晶圆厂的验证。

业内人士指出，光刻机高精密环控系统的国产化替代具有双重战略价值：既保障了设备维护的供应链安全，更为后续设备升级提供了灵活的技术接口，这对推动国产半导体装备的持续创新具有重要意义。