近几年,美方一直在打压我们的芯片发展,从逻辑芯片到存储芯片,再到AI芯片,从单独限制到拉拢日荷盟友共同限制,且限制范围逐步扩大到设备、材料、软件等。
美方以为只要限制住了这些先进芯片制造必备的物项,就能够彻底阻挠我们发展高端芯片。然而,令美方没有料到的是,国产EUV传出新消息,中芯国际也迎来了机会。
不过,芯片制造需要的设备、材料和软件等的各类繁多,全面禁止不太可能。于是,美方就抓住重点,盯上了芯片制造中必不可少的核心设备,那就是高端EUV光刻机。
目前的传统芯片制造工艺流程,要想制造7nm以下的先进芯片,就必须要用到EUV。
因此,美方只要限制EUV向大陆市场出货,就能阻挠我们发展先进芯片制造。并且EUV光刻机全球只有荷兰ASML一家能够生产,要限制EUV只需要向荷兰施压就可以。
美方也确实是这么做的,其实并不只是近几年实施芯片限制才如此,此前的2018年就已经开始限制EUV对华出货了。当年,中芯国际曾经向ASML订购了一台EUV。
预计2019年底交付,但美方知道后,连续四次向荷兰施压,取消了ASML出货许可。
自那时起,ASML的EUV再也不能向大陆的中企出货。后来,美方再次扩大EUV管制范围,甚至连外企在大陆的晶圆厂也不能购买,韩企SK海力士就曾遇到这个问题。
在当前的芯片制造技术中,光刻机必不可少。因此,美方堵住EUV光刻机,以此来阻挠我们进入7nm以下制程,确实是最好的办法。目前来看,这个限制确实起作用。
自从美方限制了EUV光刻机对华出口后,我们芯片制造技术最先进的中芯国际就无法进入7nm以下制程,随着美方限制扩大到浸润式DUV,就只能进行14nm以上。
因此在美方不断加码芯片限制的这几年,我们扭转发展方向,重点发展成熟制程芯片。
当然,我们自然也不会放弃先进制程芯片发展。在这种极端的情况,也让我们不断地思考,那就是只要我们加速自研,实现国产EUV光刻机,那芯片限制就彻底结束了。
因为我们一旦拥有了EUV光刻机,先进芯片制造就没问题了,这让我们看到了希望。
那就是,加速攻坚国产EUV相关技术,争取尽快实现国产EUV。尽管还需要其它设备的配合,但最难的EUV都能突破,其他就更不是问题了,再说其他都在加速自研。
不过,EUV光刻机的突破可不那么容易,光刻机都是所有芯片设备中难度最高的,EUV又是光刻机中难度最高的,需要解决极紫外光源、双工作台系统和高精度的镜头。
再说,这些核心技术不是被ASML给收购,就是跟ASML绑定使用,我们都不能用。
因此,要想实现国产EUV,就需要我们一个一个攻克核心技术。好消息是,前不久哈工大研发出了“放电等离子体极紫外光刻光源”,能提供波长13.5nm的极紫外光。
这样的话,EUV光刻机最难的光源问题就基本解决了。重点是,哈工大研发的这个方案能量转换效率高、造价较低、体积较小、技术难度较低,相比之下似乎更有优势。
当然有了EUV光源,还有其他核心技术要攻克,不过离国产EUV时间越来越近了。
据相关消息显示,国产EUV用不了几年了。一旦我们推出了国产EUV,那么中芯国际就迎来了机会,因为先进制造技术研发并没停止,梁孟松在静待EUV光刻机到来。
对于以上情况,并不只是笔者的臆想,而查阅了相关资料,有些东西不能明说,也不能透露。近日,新加坡某知名管理公司表示,大陆的中芯国际未来有望赶上台积电。
并且还对美媒彭博社表示,尽管大陆目前确实无法获得ASML的EUV,但他们在努力攻克国产EUV,一旦研发出来,那么芯片战就会结束,美方芯片限制也没意义了。