华中科技大学EUV光刻机突破啦

叫花子说车 2023-09-26 20:21:00

双脉冲激光锡等离子体数值模拟研究1. 武汉工程大学光信息与能源工程学院,湖北省光信息与模式识别重点实验室2. 华中科技大学武汉光电国家研究中心3. 广东省智能机器人研究院摘要:为了提高13.5 nm激光锡等离子体光源的极紫外辐射转换效率,双脉冲技术是一种行之有效的方法,通过数值模拟获得基于双脉冲激光驱动的液滴锡靶等离子体参数的演化行为与辐射机理对设计优化实验方案具有重要意义。利用Flash代码数值模拟研究了双脉冲激光辐照液滴锡靶产生的等离子体在不同波长组合及延时情形下的演化行为,研究结果表明:在双脉冲的时间延时间隔恒定时,主脉冲激光能量的增加会提高等离子体羽辉膨胀速度,导致更高的等离子体温度。随着CO2激光与光纤激光脉冲之间延时的增加,靶材表面等离子体的峰值电子密度逐渐减少,渐趋于临界电子密度,等离子体冕区的电子温度呈下降趋势,且由等温膨胀转换为绝热膨胀的时间间隔增加。CO2激光与光纤激光组合驱动的锡等离子体具有更加合适的极紫外辐射等离子体温度,具有获得较高极紫外辐射转换效率的潜力。

42 阅读:12551
评论列表
  • 2023-09-27 10:51

    这些大概都是分包的子系统研究任务,不过也值得庆贺,毕竟只有一个个的小胜利才能积攒大胜!

  • 2023-09-26 23:25

    好不错马上率先使用

    铭记在心 回复:
    关键是那一大堆蔡司镜头引出稳定的光,且还有缩小机器之功,兔子基本能做出这堆镜子但避不了专利,所以兔子开个光刻厂
    万千树海 回复: 铭记在心
    专利影响售卖,自己用的话,谁管他
  • 2023-09-27 17:18

    长春光机所的极紫外光刻设备已经在中科院申请一等奖了,中科院网站上有报道。

    不羁的风 回复:
    真的假的
  • 2023-09-27 21:53

    之前那个是28纳米,这个不清楚是多少

  • 2023-09-27 06:24

    [点赞]

  • 2023-09-27 11:21

    文不对题?

  • 2023-09-28 06:59

    开你妈的玩笑

  • 2023-09-27 11:27

    祖国又突破了

  • 2023-09-27 11:36

    啥时候官宣

  • 2023-09-27 07:52

    什么时候没这些新闻 那是真正在做事了

    用户10xxx75 回复:
    2个月前还在讨论突破28纳米,没想到现在7纳米已经批量出货了
    70年代剪刀手 回复:
    主流媒体都不说 就是自媒体博眼球跳的欢
  • 2023-09-27 20:39

    还好了。我不是的。只是你不在看我了。呵呵呵呵

  • 2023-09-28 08:13

    自媒体又突破了[点赞]

  • 2023-09-27 23:15

    明天超市里有卖的吗?

  • 2023-09-27 10:43

    一不小心中国多家先后突破EUV,内卷了咋办,真愁人!

  • 2023-09-27 19:10

    我感觉这篇文章是泄密文章,有没有专家看看

叫花子说车

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