等离子体是物质存在的第四态,比气态能量更高,等离子体是良导体,受磁场影响。
微波是等离子体产生的方法之一,微波等离子体无电极、大体积、运**压宽、低能耗、高效率和低成本等优点,其等离子体发生室和处理室可分合,工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。
等离子体比其他工艺有更高的温度和能量密度,能够产生活性成分,引发常规条件下不能或难以实现的物理和化学反应。
等离子体工艺优点:
干式洁净工艺
满足无尘室等苛刻条件
使用方便灵活,工艺简单
对各种形状的零件有明显处理效果
工艺条件完全可控
成本低,效果好,时间短。
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