“2022年3月注册，10月建厂，12月开始投产，企业估值5.5亿元。今年有望成为规上企业，明年产值将达到5000万元到1亿元。”哈尔滨工业大学(深圳)教授、鹏城微纳技术(沈阳)有限公司（以下简称：鹏城微纳）技术总监吴向方近日在接受采访时介绍，鹏城微纳立足于市场前沿、产业前沿和技术前沿的交叉点，解决微纳产业“卡脖子”问题和国产化难题。企业的快速发展，有望推动沈阳微纳产业驶上发展的快车道。

硬科技新突破大市场

微纳技术是指微米、纳米级的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用技术。鹏城微纳主要研发微纳材料、微纳器件和微纳工艺装备，产品广泛应用于新材料、新能源、微电子光电子、半导体、声学、光学、微机电系统、传感器、生物医学、精准医疗、大健康、微纳机器人等领域。吴向方认为，微纳技术是硬科技领域引领性技术，微纳产业拥有足够大的市场、足够多的应用场景。

虽然成立仅仅一年时间，但鹏城微纳研制的CVD金刚石制备工艺与装备（热丝CVD金刚石设备）、多源大尺寸分子束外延MBE设备等主打产品，达到国内领先水平，填补了多项国内空白。吴向方说：“我们的金刚石制备工艺与装备，可以研制生产6英寸、8英寸金刚石晶圆片，是国内的‘独一份’，打破了该领域的国际垄断。”

CVD金刚石制备工艺与装备（热丝CVD金刚石设备）

分子束外延薄膜生长设备（MBE）

吴向方认为，鹏城微纳加大力度创新发展，做大做强微纳产业，形成进口替代，未来会抢占更大的市场份额。企业在沈阳落地生根，发展前景一片光明。

产学研产业园产业化

鹏城微纳坐落于沈阳大学科技园内，这里还是沈阳微纳技术产业园的所在地。沈阳微纳产业，在此生根发芽、茁壮成长。

吴向方介绍，鹏城微纳始终坚持产学研一体化模式，依托哈尔滨工业大学(深圳)，构建了以教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，在沈阳设立了科技情报与知识产权部、产品设计部、工程技术部、产品制造中心、人才培训部。企业研发团队具有20余年的半导体材料研究、PVD/CVD沉积技术研究、外延技术研究、半导体薄膜制备成套装备设计和生产制造的经验。同时，哈尔滨工业大学(深圳)的微纳光电信息系统理论与技术重点实验室、深圳市航空航天微纳器件制备和检测平台、微米与纳米流体力学研究中心等创新平台，也是鹏城微纳创新研发最有力的后盾。“只有将产学研构筑成一个有机整体，进行紧密、科学的管理运作，才能高效运转起来，才能真正体现出产学研一体化的魅力。”

鹏城微纳是沈阳微纳技术产业园第一批入驻企业。吴向方认为，微纳技术是具有巨大引领带动作用的新技术。沈阳高度重视微纳产业发展，打造专业产业园，必然吸引更多微纳技术领域核心、骨干企业来沈发展，形成集聚效应，打造微纳产业发展高地。同时，沈阳建设微纳产业技术研究院，营造微纳产业生态系统，都将加速沈阳微纳产业的发展。

新闻来源于：沈阳日报