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以前总说“造不如买”,但现在不一样了,核心技术得自己掌握,这句话在芯片领域体现得淋漓尽致。
长期以来,中国芯片产业饱受“缺芯少魂”之苦,而光刻胶作为芯片制造的核心材料,更是被国外厂商牢牢掌控,成为制约中国芯片产业发展的关键瓶颈。
如今,随着华中科技大学自主研发T150A光刻胶的成功,中国芯片产业终于迎来了一丝曙光,也预示着中国在打破技术封锁、实现自主可控的道路上迈出了坚实的一步。
信源:重大突破!华科人攻克芯片光刻胶关键技术 华中科技大学 2024-10-28
芯片是数字时代的根基,现代科技的顶梁柱,而在这顶皇冠上,有一颗至关重要的明珠,它低调而神秘,却左右着芯片的命运,它就是——光刻胶。
你可能听说过芯片制造的复杂和精密,但你未必了解光刻胶在其中扮演的关键角色,它不是芯片的组成部分,却决定了芯片的性能和命运。
在晶圆表面涂上一层薄薄的光刻胶,这层胶对光线极其敏感,将预先设计好的电路图制成掩膜版,掩膜版上透明和不透明的部分对应着电路的不同结构。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上时,被遮挡的部分不会发生变化而被光线照射到的部分则会发生化学反应。
经过显影、蚀刻等一系列工艺,最终在晶圆上形成所需的电路图形。
这听起来似乎很简单,但实际上,光刻胶的研发和生产极其复杂,涉及到高分子化学、材料科学、光学等多个学科的交叉融合。
它对纯度、感光度、分辨率等指标有着极其苛刻的要求,任何一点细微的偏差都可能导致整个芯片制造的失败。
我国的光刻胶研究起步于上世纪90年代,经过几十年的发展,已经取得了长足的进步。
不过,在高端光刻胶这块,我们还有不少难题要解决,长期以来,国际巨头牢牢掌握着核心技术和市场份额,对原料和配方实行严格保密,构筑起一道难以逾越的技术壁垒。
这导致我国芯片制造长期依赖进口光刻胶,不仅成本高昂,更存在着被“卡脖子”的风险。
这种依赖进口的情况,就像一根悬在中国芯片产业头上的刺,让人时刻感到不安。
如果国际形势变了,供应链一断,整个行业都会面临大麻烦。
因此面对技术封锁的压力,中国科研人员走上自主创新的道路,他们明白,核心技术是求不来的、买不到的、也讨不到的,只能靠自己努力,才能打破封锁,掌握自己的命运。
在这场没有硝烟的科技战争中,华中科技大学武汉光电国家研究中心团队,就是一支冲锋在前的突击队。
他们在电子化学品行业摸爬滚打了二十多年,一直专注于关键光刻胶技术的研究。为了突破国外的技术封锁,实现国产替代,他们默默付出,用智慧和努力推动着这一目标的实现。
武汉光电国家研究中心是光电领域中唯一的国家级研究机构,科研实力在全球光电基础研究中处于顶尖水平,为团队的科研工作提供了强有力的支持。
T150A光刻胶,就是这支团队的最新力作,它的出现,意味着中国在光刻胶领域取得了重要进展。
这款光刻胶和国际大厂的主流KrF光刻胶不相上下,已经通过了严格的量产测试,所有原材料都是国产的,配方也是自主研发的。
T150A的性能指标,也足以令人振奋,这款技术的极限分辨率能达到120纳米,工艺宽容度更好,稳定性更出色,留膜率也更高,刻蚀工艺表现更佳。
T150A在密集图形刻蚀上表现很出色,侧壁垂直度更好,甚至超过了国外的同类产品。
T150A的研发过程并非一帆风顺,团队成员经历了无数次的实验,一次次的失败,一次次的改进,才最终取得了成功。
他们克服了重重困难,攻克了一个个技术难题,最终实现了从实验室到产业化的跨越。
2022年,T150A光刻胶进行了两批次试制,为后续的量产奠定了基础。
2023年6月,彰泰照明与华中科技大学签署了订货协议,T150A系列产品正式进入量产阶段。
随后,T1506型号(常规型R1)交付兆易创新进行量产试测,取得了令人惊喜的成果。
T1506的留膜率达到了97%,超越了国外同类产品,打破了国产光刻胶与进口产品之间存在巨大差距的固有观念。
其实T150系列的成功,并非偶然,它背后是华科大团队二十多年的技术积累,是无数科研人员的辛勤付出,更是国家对科技创新的坚定支持。
在这场攻坚战中,无数中国科研人员,怀揣着科技报国的理想,以“板凳甘坐十年冷”的毅力,在各自的领域默默耕耘,为中国芯片产业的自主发展贡献着自己的力量。
回顾中国光刻胶技术的发展历程,可谓筚路蓝缕,充满艰辛,除了技术封锁,我们还要面对市场垄断、人才流失等诸多挑战。
国外巨头凭借其先发优势和雄厚的资金实力,牢牢占据着市场的主导地位,对国内企业的发展构成巨大压力。
然而越是困难,越能激发中国科研人员的斗志,因为他们深知,核心技术是国之重器,自主创新是民族复兴的必由之路。
T150A光刻胶的量产,为中国芯片产业的发展注入了新的活力,这不仅是国产光刻胶技术的一次重大突破,更是中国芯片产业迈向自主可控的重要一步。
虽然与国际先进水平相比,中国光刻胶技术还有差距,但我们已经看到了曙光。
从32nm到28nm,再到更先进的工艺节点,中国科研人员正在一步一个脚印地追赶,不断缩小与国际先进水平的差距。
从“一束光”到“创新城”,中国光刻胶技术的发展,见证了中国科技创新的蓬勃生机。
未来,中国科研人员将继续追光逐电,勇攀科技高峰,为实现中国芯片产业的自主可控,贡献自己的智慧和力量。
相信在不久的将来,中国芯片将不再受制于人,真正屹立于世界科技之巅。
这不仅是科技界的胜利,也是全体中国人的胜利。
笔者认为
虽然中国芯片产业的自主化发展,任重道远。
但我们有理由相信,在国家政策的支持下,在科研人员的努力下,在企业的积极参与下,中国芯片产业必将迎来更加美好的未来。
不愧是华科大
激光透掩模板图形然后缩小1000倍折射到光刻胶上[滑稽笑]