ASML是全球光刻机制造技术最先进的厂商,其研发制造的光刻机,几乎占领了中高端市场。
据悉,ASML的光刻机技术之所以先进,一方面是因为采用大量的美技术,像曝光系统等,另一方面是台积电、三星等进行的大量数据反馈,促使ASML优化了技术。
也正是因为如此,ASML研发制造EUV光刻机后,该设备就不能自由出货,国内厂商早就全款订购的一台,至今都没有到账。
芯片等规则被修改后,ASML的DUV光刻机也不能自由出货,尤其是在美生产制造的DUV光刻机等设备,而EUV光刻机也不能出货到外企中国分厂。
结果进入2022年后,情况就发生了明显的变化。
过去,ASML一直都想自由出货,但总是发声呼吁,并没有什么实质性的动作。如今,ASML却开始加速向国内厂商出货DUV光刻机等设备。
数据显示,ASML今年第一季度就向国内厂商出货了23台DUV光刻机,如此多的出货量,远超之前的出货速度。
毕竟在过去很长时间内,才向国内出货了50余台DUV光刻机。
另外,ASML还正式对外透露,全新一代High NA EUV光刻机的原型机将会在2023年面世,最快将在2024年交付厂商测试。
可以说,ASML如此表态,就相当于透露EUV光刻机有望在2024年自由出货。
毕竟,全新一代High NA EUV光刻机出货后,EUV光刻机就不再是最先进的设备,自然就不受瓦森纳协议限制了。
最主要的是,ASML还正式确认将会扩大国内研发中心的规模,计划新增200名研发人员,并宣布将会在国内建设维修中心。
据了解,这些举动都可以看作是为EUV光刻机自由出货做准备的。
面对这样的情况,就有外媒表示ASML开始有点“出格”了,不仅加速出货DUV光刻机等设备,还变相透露了EUV光刻机有望自由出货的时间。
其实,ASML这么做,也是有原因的,毕竟,ASML就是一个光刻机制造工厂,以销售光刻机为主要收入来源。
芯片等规则被多次修改后,ASML在出货方面受到了很大的限制,已经失去了很大的市场,而美本土等市场又不景气,ASML只能将更多注意力放在其它市场上。
数据显示,国内市场已经超于美国成为ASML第三大市场,占比超过14%,这还是在ASML不能自由出货的情况,一旦ASML实现自由出货,结果可想而知。
另外,由于ASML不能自由出货,已经促使很多厂商研发新技术,降低对ASML光刻机的依赖。
例如,铠侠等推出了NIL工艺,台积电等推出了先进的封装工艺,苹果、华为等开始重视堆叠技术芯片。
可以说,上述这些技术都大大降低了对EUV光刻机的依赖,NIL工艺在没有EUV光刻机的情况下,可将芯片缩小至5nm。
而先进封装技术在不改变制程的情况下,可提升40%的性能,堆叠技术的芯片,更是可以将芯片多核性能翻倍提升。
最主要的是,国产光刻机技术进步很快,像曝光系统、浸润系统等都已经完成,消息称,国产先进光刻机已经开始进行试验阶段,相信不久就会到来。
在这样的情况下,ASML不得不加速出货DUV光刻机,还要加速实现EUV光刻机自由出货,因为这些新技术和新设备等随时都可能替代ASML,导致其损失更大的市场。
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