DUV光刻机买不到了?荷兰宣布扩大对半导体设备出口管制

科技铭程 2024-09-10 23:59:28

9月6日,荷兰政府宣布扩大对先进半导体制造设备的出口管制措施,即从9月7日起,更多类型的半导体制造设备将受到荷兰政府授权要求的限制。

根据这一措施,荷兰光刻机巨头ASML需要向荷兰政府申请浸润式DUV光刻机的出口许可证,涉及型号包括1980Di、2000i、2050i和2100i型。

四个型号代表着ASML的浸润式DUV光刻机的4个阶段,属于一代一代的升级。

有意思的是ASML标注的1980Di型DUV光刻机可以用来制造10nm芯片,但是台积电拿到这款光刻机后,为华为代工了麒麟990芯片,标注了7nm工艺。

现在看来,已经算虚标了。

有了EUV光刻机后,DUV光刻机大都被用于14nm以上的芯片制造了,毕竟成本和良品率在那摆着。

但是内地的晶圆制造企业,中芯国际、长江存储、长鑫存储等购买不到EUV光刻机只能继续使用浸润式DUV光刻机去制造10nm、7nm芯片。

例如2000i以后的型号通过多次曝光后,是可以制造7nm,甚至5nm以下芯片的,但同样面临着高成本和良品率。这一点我们可以从麒麟9000S和9100系列上感觉到。

如今,荷兰政府加码半导体设备的限制出口,说白了就是限制ASML的光刻机出口,而目的就是阻碍中国芯片产业的升级。

因为ASML是全球光刻机龙头企业,把控着全球82%的光刻机市场,其中EUV光刻机份额达到了100%、浸润式DUV光刻机份额达到了95%。

我们日常使用的手机,别管苹果、三星、华为,还是小米、OPPO、vivo、荣耀,它的核心SoC都是ASML的光刻机制造的。

没有ASML,全球晶圆代工厂台积电、三星、中芯国际、联电全部歇菜,存储芯片厂商SK海力士、美光、长江存储也一样要停工。

如果说还有一点点替代的话,那恐怕就是日本尼康了,但是尼康没有EUV光刻机。

换句话说,只要把控住ASML就能把控全球芯片格局,这就是为什么美国一定要联合日本、荷兰搞半导体设备出口限制。

2022年、2023年,美、日、荷三国先后出台半导体设备出口限制政策,这意味着91.5%的半导体设备可能随时会对我们禁运。

为了确保我国芯片产业的发展不受影响,内地企业紧急下订单,赶在禁令生效前抢购了一批设备。

2023年中国大陆从荷兰进口光刻设备金额高达11亿美元,同比暴增1000%,大幅超过10月的6.7亿美元,和11月的8.2亿美元。

而全年进口半导体设备总额也接近400亿美元。

有了这批设备,短时间内我们的芯片产能就有保障了。

最为明显的是,我国成熟芯片产能快速提升,市场份额排在了全球第一位,并且分析师认为到2030年,全球将有60%的成熟工艺芯片来自中国大陆。

7nm以下先进芯片也有了重大突破,最为明显的就是华为的麒麟9000S、麒麟9010等,这些芯片很明显是采用的DUV光刻技术。

国内晶圆厂采用多重光刻、3D封装技术增加了单位面积上的晶体管数量,提升了芯片性能,再加上系统的加持,使得华为手机有了突破性的提升。国产芯片又迎来了发展的曙光。

但是从目前荷兰政府的行为来看,又加了大对光刻机的出口管控,将型号扩展至并不太先进的1980Di和1970i。这不是给ASML出难题吗?

ASML已经拥有了先进的EUV光刻机了,而且价格更贵,利润更高。台积电、三星、英特尔、SK海力士、美光这类大厂已经减少甚至不再购买DUV光刻机了。

DUV光刻机最大的买家是中国大陆,你搞一个出口限制,表面上是限制中国大陆企业购买,实际上也严重影响了ASML的生意。

而随着中国对光刻机的研发投入,迟早有一天会攻克难关的,到时候ASML不仅出口额下降,还会迎来一个崭新的强大的对手。

从公开信息看,目前国产光刻机最先进的仍然是上海微电子的600系列光刻机。

我们看到这类光刻机分辨率为90nm,主要用来制造90nm及以上的芯片,当然多重曝光后可以制造55nm芯片,但是良品率会降低。

55nm芯片使用场景并不多,只要是航空航天、工业工控以及部分家电领域,这部分产能未来是要被逐步淘汰的。因为随着技术的进步,28nm、14nm芯片同样能够做到稳定、精准、防潮、防辐射。

所以,我们必须要下大力气研发国产光刻机,好消息是我们已经在关键领域取得了重大进步。

多家媒体爆料,国产28nm光刻机已经制造出了样品,正在多轮测试中,EUV光源、光学镜片、双工作台也取得了进步。

这些技术的进步一度让ASML非常紧张,以至于前任总裁温宁克激动的表示:中国自主研发光刻机是破坏全球产业链。

从最初的“公开图纸,中国也造不出光刻机”,到现在的“破坏全球产业链”,不过十几年时间,但已经从侧面反映出中国光刻机的进步。

而作为全球最大的光刻机制造商和销售商,ASML并不希望限制出口,因为这样不但会影响自己的销售,甚至还会出现竞争对手,无论哪个国家发展芯片技术,都利于ASML,打压限制导致芯片竞争格局瓦解,才会影响ASML的发展。

ASML首席执行官克里斯托夫·富凯在花旗银行的一场会议上也认可这个观点,并表示,美国限制阿斯麦对华出口是出于“经济动机”。

但是ASML的EUV核心技术以及50%的零部件均来自美国,加上当初签署的相关协议,导致ASML受制于美国政府。

尽管中国市场占ASML收入的35%。但是,随着额外的出口管制到来,销售必然会受到影响,而荷兰ASML似乎也做好了放弃中国市场的准备。

中国商务部去年就与荷兰政府就光刻机出口事件进行了多轮沟通,但结果不乐观,如今荷兰政府更是一意孤行扩大出口禁令。

那么未来中国就必须要走光刻机自主研发之路,并且还要出海与AMSL竞争。

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评论列表
  • 2024-09-12 21:09

    好事,必然加快中国自己的光刻机产业发展。我们也不会坐以待毙

科技铭程

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