美国新旧总统交替的关键时刻，该国贸易保护主义政策的强化再次成为焦点。
日前，美国工业和安全局（BIS）发布了修订后的《出口管理条例》，宣布将140家中国半导体行业相关实体纳入“实体清单”。他们明确表示了，希望进一步限制中国在先进制程半导体生产方面，尤其是在用于未来技术领域的半导体制造能力。
随着贸易保护政策的升级，国内半导体产业及其供应链中的众多关键新材料无疑将再次受到波及，国内新材料企业未来也将面临更为严峻的挑战。
针对这一行业所指的关键新材料，除了广为人知的光刻胶及显示材料外，还有相较来说更少被讨论的电子特气、湿电子化学品等，化工新材料公众号《自主之路》系列文章将继续为您梳理这类进口依赖较高的“卡脖子”材料的国产现况。
拓展阅读：
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2、自主之路 | 金发科技入局，这一新材料国产化来了！
不到1/5的自给率
本次，在美国最新公布的《出口管理条例》中，该国首次将南大光电等两家中国特种气体公司及其关联公司列入实体清单。对于国内电子特气市场而言，这一举措尤其具有挑战性。
被列入美国商务部的“实体清单”意味着，任何受美国出口管制法规（EAR）管辖的技术、软件或商品（包括但不限于硬件、材料、化学品等），在出口、再出口或转让给这些实体时，都必须获得美国政府的特别许可。
全球四大气体企业——德国林德集团、美国空气化工公司、法国液化空气集团和日本太阳日酸，在国际气体市场中占据寡头地位，长期主导着高端电子特气的供应，2020年，这些外资企业约占我国电子特气市场超80%的市场份额，这就导致了国内半导体产业在获取关键气体材料方面常常面临“卡脖子”的困境。
半导体制造的第二大耗材
电子气体指的是专门用于电子半导体领域的一类工业气体，在芯片制造成本中电子气体占比约为14%，在半导体制造种是除硅片材料外的最大耗材，可大致分为电子大宗气体、电子特种气体等。
半导体制造需使用上百种电子特种气体，这类产品贯穿于清洗、成膜、光刻、刻蚀、 掺杂等各个工艺环节。
按照制造工序的不同，电子其他也可分为外延晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气（CVD）、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气等。
国内特气企业错位竞争
现阶段，国内各企业具有各自的核心产品品类，代表企业如：昊华科技（三氟化氮、四氟化碳、六氟化钨）、中船特气（三氟化氮、六氟化钨）、南大光电（磷烷、砷烷）、雅克科技（氟碳类气体、三氟化氮）、华特气体（六氟乙烷、光刻气）、金宏气体（超纯氨、高纯氧化亚氮）等。
国产现状整体概况
中国电子特气的发展路程
国内电子特气行业的发展与多个关键领域的进步密不可分。
随着光伏装机量、照明技术的不断提升，以及国民消费升级的需求日益增长，电子特气的应用范围和市场需求不断扩大。与此同时，5G通信等新兴产业的迅速崛起也为电子特气行业注入了新的动力，共同促进了该行业的快速发展。
行业壁垒：技术、市场、资金
电子特种气体种类较多，不同类产品的合成、纯化等工艺技术可能存在较大差异，且工艺路线长、过程复杂。在半导体领域，尤其是在成膜、光刻、前驱体开发等工艺环节，国内有一定的基础，但国产化的程度较低，较之国外同类型产品仍有明显差距。
据中国工业气体工业协会统计，我国仅能生产约20%的集成电路生产用电子特气品种，其余均依赖进口。
随着下游客户需求的多元化和芯片制造工艺的进步，特别是在迈入14nm及更先进制程后，主流芯片制造企业间的工艺差异显著增大，对电子特气等复配类化学品的要求也愈加严格。特征尺寸的缩小使得各种化学品的工艺窗口变得狭窄，对产品的杂质含量、清洗去除能力、刻蚀选择性、批次稳定性和一致性等方面的管控要求大幅提升。
例如，电子化学品的洁净度要求通常达到6N（ppm级），而在先进制程集成电路中则需达到9N（ppb级），远高于基础化工产品最高等级的4N级。在实现路径以及对杂质颗粒度、水分含量等方面有着完全不同的要求。
尽管中国本土企业已突破技术壁垒并不断实现电子国产化，但在下游市场拓展中仍面临：质量信任、成本效益与认证周期以及潜在风险（批次产品不达标或生产线污染）等多种挑战。
另外，对于生产企业来说，这一行业显著的高资本密集特性，以及危化品运输的严格要求，意味着不仅需要高额的初始投资，还涉及持续的资本支出以满足生产和物流的高标准需求。
代表企业现况
南大光电：2023年全年营收约17亿元，其中，特气产品销售额约为12.3亿，氢类特气版块销售额同比增长超40%，产能10640吨，利用率达88%，在建产能3600吨。据不完全统计，该公司主要布局的产品专利如下：
中船特气：拥有国内三氟化氮、六氟化钨最大产能生产基地，2023年全年营收约16.2亿元，其中，特气产品销售额约为14.9亿，期间，公司完成3250吨/年三氟化氮、735吨/年高纯电子气体等项目。据不完全统计，该公司主要布局的产品专利如下：
华特气体：2023年全年营收约15亿元，其中，氟碳类、氢化物、氮氧/碳氧化合物 、光刻及其他混合气体合计销售额约为9.17亿。据不完全统计，该公司主要布局的产品专利如下：
金宏气体：2023年全年营收约24.3亿元，其中，特气产品销售额约为10.9亿元，据不完全统计，该公司主要布局的产品专利如下：
参考资料来源：长江证券、浙商证券、化工新材料
文章来源：化工新材料
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