知情人士称,在高端芯片制造设备出口禁令生效前几周,ASML应美国总统乔·拜登政府的要求,取消了向中国运送部分机器。
这家荷兰制造商获得了向中国公司运送三台顶级深紫外光刻机的许可,直到一月份荷兰新限制措施全面生效为止。然而,据知情人士透露,美国官员联系了 ASML,要求他们立即停止向中国客户预先安排的部分机器发货。由于讨论是保密的,因此要求不具名。(原文:The Dutch manufacturer had licenses to ship three top-of-the-line deep ultraviolet lithography machines to Chinese firms until January when new Dutch restrictions take full effect. However, US officials reached out to ASML to ask them to immediately halt pre-scheduled shipments of some of the machines to Chinese customers, according to people familiar with the matter, who asked not to be identified because the discussions were confidential.)
拜登正在打击北京创建自己的先进半导体产业的企图,美国及其盟友正在阻止进口技术。ASML证实,荷兰政府最近部分吊销了向中国运送某些光刻系统的许可证,影响了少数中国客户。在彭博社报道后发表的一份声明中,该公司表示,最近与美国就其出口管制法规的范围和影响进行了讨论,但没有详细说明。
知情人士称,美国国家安全顾问杰克·沙利文去年年底就此事致电荷兰政府,荷兰官员要求美国直接联系 ASML 就该设备的发货事宜直接联系 ASML,该设备被称为浸入式深紫外光刻机。
知情人士表示,根据美国的要求,有限数量的机器的发货被取消,不过目前还不清楚有多少台设备涉及其中,每台设备的成本可能高达数千万美元。
白宫国家安全委员会和荷兰外交部发言人拒绝置评。
美国对这家总部位于费尔德霍芬的公司的压力始于 2019 年,当时唐纳德·特朗普总统的政府敦促荷兰政府禁止向中国销售 ASML 的顶级极紫外光刻机。ASML 是唯一一家生产这项技术的公司,该技术用于制造为从智能手机到复杂军事装备等各种设备提供动力的半导体。
随后,在拜登政府的推动下,荷兰政府去年进一步收紧了对中国的出口管制,从1月1日起限制了该公司提供的第二先进产品线DUV机器。此后中国一直在抢购这些机器。
根据中国海关数据,7月至11月期间,中国光刻机进口额激增五倍多,达到37亿美元。第三季度,中国占 ASML 销售额的近一半——上一季度为 24%,截至 3 月份的三个月为 8%——因为那里的公司在出口管制生效之前急于进口其机器。
ASML 即将离任的首席执行官 Peter Wennink 在 10 月份告诉投资者,新的限制措施将影响该公司在中国多达 15% 的销售额。
温尼克公开反对这些措施,并警告称它们可能会鼓励中国开发竞争技术。“你给他们施加的压力越大,他们就越有可能加倍努力,”他去年在接受彭博新闻社采访时表示。
中国11月进口荷兰芯片制造设备激增十倍
据《南早》12月22日报道,11 月份,中国从荷兰进口的关键芯片制造光刻系统的价值激增了 1050%,上个月,中国进口了 16 台荷兰投影系统,价值 7.627 亿美元,同比增长10 倍。
相比之下,10 月份中国进口了 21 台光刻系统,价值 6.725 亿美元。平均单价相差46%,这表明中国企业正在继续获得更先进的系统,尽管华盛顿一直试图阻挠这种努力。
荷兰是光刻机的最大出口国,光刻机用于制造世界上最先进的芯片,几乎所有的光刻机都来自一家公司--ASML。
南早说,11 月份,中国总共进口了 42 台光刻系统,总价值达 8.168 亿美元。其中15台来自日本,日本是业界重量级企业佳能(Canon)和尼康(Nikon)的总部所在地。荷兰和日本加在一起,几乎占据了中国上个月进口光刻机的全部金额。
据该报介绍,光刻工具是一种复杂的投影系统,是集成电路制造过程中所需的10类设备中最重要的一类。中国在这项技术上被认为落后多年,虽然政府投入了大量资金,但在很大程度上仍未能缩小与领先企业的差距。
中国政府多年来一直在推动技术自力更生的议程,但根据中国公司在8月份的一次行业论坛上提供的数据,截至2021年,中国晶圆厂使用的光刻系统中只有不到 5% 是中国制造的。
美国商务部在10月份扩大了针对中国的出口管制规则后,中国的进口量连续两个月飙升。在有关光刻系统的部分,美国废除了适用于某些深紫外线(DUV)工具的"微量"规则,该规则比荷兰政府9月份生效的出口规则设定了更高的标准。
南早说,如果非美国公司的任何产品含有至少25%的美国原产技术,则微量规则赋予华盛顿对该产品的长臂管辖权。
然而,该规则的最新调整实质上使得此类技术的比例变得无关紧要。新规定从上月起生效,限制总部位于荷兰的ASML公司向中国(该公司的第三大市场)少数从事先进半导体制造的工厂出售某些浸没式 DUV 光刻系统,包括其 Twinscan NXT:1980Di 光刻系统。
不过,ASML 首席执行官 Peter Wennink 表示,最新的限制措施将绝大多数中国客户排除在外,因为这些客户涉足的是成熟或传统的半导体制造,即28纳米及以上的半导体制造。