尖端光刻机可制造精密的先进芯片

新年伊始，荷兰ASML公司在美国压力下，在专门禁令生效前数周取消了向中国供应用于生产半导体芯片的设备。

据彭博社援引知情消息人士的话报道称：“ASML Holding NV应美国总统拜登政府的请求，

突然对向中国出售光刻机使出了杀手锏。

据ASML在官网发布声明称，其NXT：2050i及NXT：2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销，影响了一些中国客户。

这就意味着，在美国意识到中国在2023年上半年大量进口光刻机之后，

特别是华为实现新手机7纳米芯片突破后，再次恶意对华芯片封杀。

ASML制造的先进DUV光刻机

在应美国的要求对华实施光刻机封锁后，在2023年底前的过渡期内，

据报道荷兰对华出口猛增到了148%，这让美国感到了恐慌。

于是，美国再度对华严厉施压，于是在荷兰在出口管制1月全面生效前，不得不配合美国，

突然对两个先进型号的光刻机实施阻断式销售，并因此取消了部分设备对华发货订单。

据知情人士透露，美国总统国家安全事务助理沙利文去年年底曾就此事致电荷兰政府，

荷兰官员则要求美国直接联系ASML商讨相关事宜；

就在美国提出这一要求后，ASML取消了剩余数量的已订货光刻机的发货。

据悉，荷兰响应美国政府对华拒售的是两个型号的光刻机，分别是NXT：2050i与NXT：2100i。

显然，目前波长193nm的1980i仍然不在限制令范围内。

另外，ASML的声明中，也没有提到2000i，所以限制令的对象目前很有可能就是前两款。

一枚小小的芯片就含有几十亿个晶体管

从参数来看，一个是NXT:2050i属于DUV浸没式光刻机，波长193nm，分辨率≤38nm，NA（孔径）1.35，效率295片/每小时。

另一个是NXT:2100i，属于NXT:2050i的后继机型，基本数据相同，

但通过与蔡司合作改进了镜头的硬件和软件，从而提高了套刻精度。

虽然消息并不乐观，但是不幸中也有一个好消息，

那就是据ASML透露，2023年NXT：2050i与NXT：2100i光刻机的出口许可证虽然突然被撤销，

不过这没有太多可以担心的地方，因为2023年ASML基本已交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。

也就是说，在2023年11月底前后，ASML也许早就猜到了美国可能会加码阻挠，

因此快马加鞭赶在年底前，将中国全年的订货都交付了。

光刻机的内部是十分复杂的高科技组合

也许，不排除此前美国已发出准备进一步禁售的命令，在中国订货方的催促之下，ASML紧密配合实现了提前交货。

有分析指出，半导体业是高度全球化的合作产业，在世界各国经济深度融合的背景下，

美国肆意推行霸道、霸凌行径严重违背国际贸易规则，是对全球现有产业链的严重打击。

不过，尽管美国淫威下的光刻机贸易已严重变形，将禁售中国的光刻机从EUV扩大到了DUV，

但据信中国依靠ASML的DUV光刻机，仍可以继续将制程工艺从7nm再推向5nm。

但这还不够，中国现在正在举倾国之力研发国产尖端光刻机，也许用不了2年，中国就能将EUV做成白菜价。

等着吧，不管是美国还是ASML，你们大哭的日子也许为期不远了！

（军评陈光文于2024.01.03）