据日经新闻报道，佳能首次正式交付纳米压印“光刻机”。使用强光在晶圆上绘制电路图的传统工艺将被像敲图章一样的纳米压印模具所替代，即使是三维电路图也可一次压印。极大提高效率并降低能耗。
佳能首次正式交付纳米压印“光刻机”
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