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1. 材料基本特性A. ITO(铟锡氧化物)的材料特性1. ITO的化学组成与晶体结构ITO(Indium Tin Ox
ITO靶材的化学组成1.1 ITO的主要成分:氧化铟(In₂O₃)与氧化锡(SnO₂)1.1.1 氧化铟与氧化锡的比例对
一、ITO导电膜镀膜工艺分类及原理1. 真空镀膜工艺真空镀膜技术是目前应用最广泛的镀膜方法之一,其在控制膜层厚度、膜层均
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