中国EUV光刻机市场的大门,正在向ASML关闭!

俊杰说历史 2022-08-28 16:11:33

ASML的成立的本身,其实就充满了目的性,就是老美联合一众西方资本抢占日本尼康的光刻机市场,从而垄断全球高端芯片制造行业。而凭借着多方的技术加持,ASML成为光刻机金字塔最顶尖的企业。数据显示,ASML占据了全球光刻机市场80%的份额,而在EUV市场更是占到了字面上的100%。

不过,随着全球数字化的不断加速,物联网、智能汽车等领域对芯片需求大幅提升,ASML虽然光刻机产能也在提升,但依然无法满足用户的需求,外加上《瓦尔森协议》,最先进的EUV光刻机不能自由出货,这给各国竞逐半导体制造产业链带来了许多变数,许多国家纷纷展开了对光刻机的研发。

从目前的情况来看,对EUV光刻机展开深度研究的主要包括中国、俄罗斯还有日本,都制定了相关计划。值得注意的是,我国对光刻机的布局,除了许多中企之外,还有我国最高学术机构中科院的身影。

在华为遭遇“断粮”后的第一时间,中科院就公开宣布,将会集全院力量攻克光刻机难题。我们要知道,在过去数十年的时间里,每当我们被“断粮”、遭遇技术封锁,国内科研团队总能给我们带来惊喜,比如高铁、量子通讯、无人机、特高压输电技术、航空航天等。

而在光刻机领域,中科院也展开了紧锣密鼓的布局!根据中科院上海光机所公布的2022博士后招聘公告信息,从其中所招聘的多个岗位中我们可以发现,上海光机所招聘的人才主要涉及光刻机EUV光源的产生理论、技术研究,也就是说主要与EUV光源有关。上海光机所此举,其实具有非常明确的指向性,而且释放出了一种信号:中企正在关闭ASML的大门!为什么会这样说呢?

众所周知,光源、工件台、投影物镜三大件是光刻机的三个核心子系统,上海光机所并没有招聘工作台、投影物镜方面的工作人员,其实经常关注光刻机新闻的网友已经心知肚明。

工件台方面,我国已经取得了重大突破,去年北京的华卓精科与清华团队推出的双工件台,不管是在生产还是技术方面,都完全实现了“国产化”,而且该双工件台的精度为1.8nm,高速运行状态下精度能达到2nm,完全达到了ASML EUV光刻机对双工件台的要求,更是国产EUV光刻机的一块重要拼图。

镜头方面,中科院的光学镀膜水平同样达到了世界领先水平,并且可以将光学镀膜的厚度降低到0.1nm以内,这对EUV光刻机镜头的制备起到了至关重要的作用。

而如今中科院上海光交所将精力放在EUV光源方面,不难看出,这基本上已经是中国EUV光刻机最后的一张拼图了。

光刻机被公认为是世界上最难制造的设备之一,一台设备重达十几吨,零部件10多万个,制造难度非常高。早期我国半导体企业相关团队到海外拜访时,海外专家听到我们的想法之后曾一度发出“嘲讽”的声音,表示“把全套图纸给中国都没办法造出来”。这句话真正伤到了我国科研人员的自尊心,但这或许并不是一件坏事,反而激发出了国内科研人员的斗志。

如今,高端芯片制造产业链的核心环节正在一步步被中企攻克,近期,在上海积塔半导体采购的多台设备中,包括蚀刻机、i-line光刻机、KrF光刻机在内的许多设备,大部分采用的是国产设备,也就是说中企正在寻找ASML的替代品,如果EUV光源被彻底突破,国产EUV也将成功破冰,这也意味着ASML的大门必然被中企关闭。

而对于AMSL而言,想要长期留在国内市场,寻求自由出货,或许是当务之急的工作!但或许身不由己,毕竟ASML并不能独自研发EUV光刻机,许多技术依赖于老美、德国等,所以客户也都明白这一点,求菩萨不如求自己!

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