与六氟化钨（WF6）一样，六氟化钼也是由难熔金属元素和卤族氟元素组成的一种化合物，均可以应用于微电子工业中作互连线。钨和钼均属于难熔金属元素，分别位于周期表中第六周期的VIB族和第五周期的VIB族。

六氟化钼结构图

从化学成分上看，六氟化钼是由一个正六价钼离子（Mo6+）和六个负一价氟离子（F-）组成的一种氟化剂，英文名为Molybdenum Hexafluoride或Molybdenum Fluoride，化学式为MoF6，分子量为209.95。

物理化学性质方面，六氟化钼的外观为白色块状结晶或无色气体，熔点约17.5℃，沸点约35.0℃，液体密度（17.5l℃）约551kg/m3，气体密度约7.2kg/m3，蒸气压约60.8kPa，不与氧气、氮气、空气、氯气或二氧化硫气体发生反应，具有较强的吸湿性、氧化性和腐蚀性，能腐蚀除金和铂外的所有金属。值得一提的是，MoF6的毒性主要是由氟引起的，水解产物氟化氢对眼、皮肤、呼吸道粘膜有刺激作用。吸入后能损伤支气管、肺泡、肝、脑神经系统以及骨和齿。

氟化钼结构图

六氟化钼的生产步骤：在白金管中放钼粉末，然后在60℃温度下通干燥氟气；在钼上面通三氟化溴并加热到350℃；在空气的存在下，往MoCl5中通氟气；再将所得到的产物要冷凝到-70℃，最后在约40℃的温度下真空蒸馏，可制得精制的MoF6。

六氟化钼主要用于钼的同位素分离，或者可微电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线。另外，MoF6在有机合成领域中也可以用作催化剂，来催化烯烃的氢化、烷基化、环化等反应