氧化硅片基底石墨烯是一种将石墨烯转移至氧化硅(SiO2)基底上的材料。这种材料因其独特的电学、热学和力学性质,被广泛研究并有潜力应用于电子器件、传感器、光电器件等领域。以下是一些关于氧化硅片基底石墨烯的详细信息:
化学气相沉积(CVD):这是一种生长大面积高质量石墨烯的有效方法。在CVD生长过程中,通常需要使用金属催化剂,并且石墨烯需要转移才能构筑电学器件。然而,转移过程可能会导致石墨烯的褶皱、破损和电学性能降低。
无金属催化生长:如果能在绝缘基底如二氧化硅上实现石墨烯的无金属催化生长,就可以避免转移过程,直接构筑电学器件,这与当前的半导体加工工艺更为兼容。
二氧化硅基底石墨烯产品:市面上有多种基于二氧化硅基底的石墨烯产品,微晶科技支持层数定制(单层、双层、少层、多层等),并且可以根据客户需求定制基底类型,如PDMS、玻璃、石英、云母、硅片等2。
石墨烯的电学性能:在二氧化硅基底上生长的石墨烯薄膜具有优异的电学性能,这是目前绝缘基底上生长的石墨烯薄膜器件的性能比较高的产品。
石墨烯的应用前景:石墨烯的优异电学性能以及与硅基半导体工艺的兼容性,使其在集成电子和光电子领域的应用具有巨大的潜力。